Gebraucht SPEEDFAM 9B-5L-IV #9208833 zu verkaufen
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ID: 9208833
Weinlese: 1995
Single side wafer lapping system
DPG Platen: 2.2 kW
Direct lead
1995 vintage.
SPEEDFAM 9B-5L-IV ist ein automatisiertes Gerät zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern. Diese Maschine ist speziell für den Einsatz in der Präzisionsbearbeitung von Halbleiterscheiben zur Geräteherstellung ausgelegt. 9B-5L-IV ist ein offenes Baukastensystem, das die Vielseitigkeit der Fertigung erleichtert und die Kosten senkt. Es verfügt über eine fünfachsige CNC-Automatisierungseinheit zur präzisen Steuerung von Waferformen und -formen von Fertigteilen. Die Maschine verwendet einen Roboterarm und ein Schnellwechselwerkzeug, um die Ermüdung des Bedieners zu reduzieren und die Rüstzeit zu minimieren. SPEEDFAM 9B-5L-IV vereint drei wichtige Waferverarbeitungsprozesse zu einem kompakten Asset. Das erste Verfahren ist das Schleifen, bei dem Diamantschleifscheiben verwendet werden, um die Dicke des Wafers zu verringern. Das zweite Verfahren ist das Läppen, bei dem eine Kombination aus Schleif- und Poliermedien verwendet wird, um sehr genaue Ebenheit, Rundheit, Parallelität und Oberflächengüte zu erhalten. Das dritte Verfahren ist das Polieren, das ein hartes und weiches Schleif- und Poliermedium verwendet, um überlegene optische Eigenschaften zu erzielen. Alle drei Prozesse werden in einem geschlossenen Modell durchgeführt, das eine Verschmutzung des Wafers beseitigt und ein wiederholbares und konsistentes Ergebnis gewährleistet. Das Gerät verwendet eine präzise Temperaturregelung und eine präzise Druckregelung, um eine überlegene Oberflächengüte zu erhalten. 9B-5L-IV wird strenge Leistungstests durchgeführt, um höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit mit jeder Charge von Wafern zu gewährleisten. Durch den modularen Aufbau von SPEEDFAM 9B-5L-IV lässt sich die Maschine schnell auf verschiedene Wafergrößen einstellen. Seine erweiterte Diagnose und programmierbare Benutzeroberfläche bieten kontinuierliche Überwachungs- und Fehlerbehebungsfunktionen sowie hilfreiche Erinnerungen und Anleitungen für den Bediener. Das System kann über seine Ethernet-Verbindung fernüberwacht werden und ermöglicht Fernunterstützung, Fehlerbehebung und Diagnose. 9B-5L-IV ist eine praktikable Lösung für das Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern in der Herstellung von Chips oder MEMS (mikro-elektromechanische Systeme). Es kombiniert drei kritische Prozesse zu einer Maschine, und seine offene Architektur und fortschrittliche Diagnostik helfen, Kosten zu senken und die Qualitätssicherung zu verbessern. SPEEDFAM 9B-5L-IV ist eine effiziente und zuverlässige Einheit zur Präzisionsbearbeitung von Halbleiterscheiben.
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