Gebraucht SPEEDFAM 9B-5L #9143836 zu verkaufen
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ID: 9143836
Weinlese: 1999
Lapper / Polisher
(2) Variable frequency drives
(3) Motors:
Main drive
Sun gear (Reversible on control panel)
Vertical sun and ring gear elevation adjust
320 Grit SiC
Main plate 10HP VFD with no lapping hours
Sun gear motor & VFD: 3HP
Stainless cover
Electrical panel devices with VFD (Variable frequency drive)
Common to lap & polish:
Substrate material
Cylinder pressure
Flatness of plates
Plate material
Conditioning of plates
Carrier thickness
Carrier material type
Target surface finish
Lap:
Grit material
Grit shape
Grit size
Grit size tolerance (Vendor dependent)
Grit carrier solution, mixing or grit suspension
Grit pump rate
Polish:
Substrate flatness prior to polish
Slurry material
Slurry pump rate
Pad material
Pad type
Processing materials:
Aluminum nitride (AlN)
Beryllium oxide (BeO)
Coorstek superstrate (Al2O3)
Does not include:
Slurry delivery system
1999 vintage.
SPEEDFAM 9B-5L ist eine Präzisions-Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für Anwendungen mit hohem Durchsatz und Gleichmäßigkeit entwickelt wurde. Mit einem fortschrittlichen zweistufigen Schleifsystem bietet SPEEDFAM 9B5L schnelles, konsistentes und gleichzeitiges Schleifen von Substraten bis 6 Zoll Durchmesser. Eine an Bord befindliche Poliereinheit liefert überlegene Gleichmäßigkeit der Polierergebnisse schneller als herkömmliche mehrstufige Poliermaschinen. Die einzigartige Oszillationsmaschine, die den Schleifbandschleifprozess antreibt, bietet ultimative Kontrolle über Polierkraft, Geschwindigkeit und Maschinen reibungslosen Betrieb. 9 B-5 L verfügt über ein totzonenfreies Antriebswalzendesign, eine leichte, korrosionsbeständige Werkzeugbasis und eine innovative doppelachsige Tragkonstruktion für Anwendungssteifigkeit. Der zweistufige Aufbau ermöglicht schnelles und gleichmäßiges Schleifen und Läppen in einem Einlaufbetrieb, auch bei komplexen Werkstückkonturen. Darüber hinaus erübrigt sich durch die unaufschiebbare Konfiguration ein Austausch der Schleifbänder während des Betriebs, was zu einer erhöhten Durchsatz- und Auftragskonsistenz führt. Für einen sauberen und effizienten Betrieb umfasst SPEEDFAM 9 B-5 L ein vollständiges Prozessüberwachungstool mit Echtzeit-Feedback und automatisierter Prozesssteuerung. Die intuitive grafische Mensch-Maschine-Schnittstelle (HMI) der Maschine setzt kritische Prozessparameter, um Schleif-, Läpp- und Polierergebnisse innerhalb eines einzigen Bildschirms für einfachen Zugriff zu steuern. Die benutzerfreundliche Navigation des Menüs ermöglicht es Benutzern, schnell Parameter für die Verarbeitung und Prozessoptimierung einzustellen. Das einzigartige Luftwäscher-Reinigungsmodell der Anlage erzeugt einen sauberen Luftstrom, um Staubpartikel und andere Abfälle zu reduzieren und einen sauberen und sicheren Betrieb in der Produktionsumgebung zu gewährleisten. Der Geräuschpegel wurde um mehr als 80% reduziert, da die Schalldämmung für geräuscharmen Betrieb in die Maschine eingebaut wurde. 9B5L bietet fortschrittliche Technologie in Kombination mit überlegener Leistung und ermöglicht hochwertige Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierlösungen für industrielle Anwendungen. Es kann für beidseitige Anwendung und einseitige Anwendung, wie für Solarzellen-Paneele, für Anwendungen mit hoher Genauigkeit verwendet werden. Seine Portabilität, Flexibilität, automatische Prozesssteuerung und andere erweiterte Funktionen machen es ideal für eine Vielzahl von Waferschleif-, Läpp- und Polieranwendungen in der Photonik, Halbleiter- und Medizinprodukteindustrie.
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