Gebraucht SPEEDFAM 9B-5L #9276628 zu verkaufen

SPEEDFAM 9B-5L ist eine hochentwickelte automatische Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Dieses System wurde entwickelt, um unglaublich präzise Waferoberflächen mit ungleicher Wiederholbarkeit zu produzieren. SPEEDFAM 9B5L eignet sich besonders für die Herstellung von Präzisionsscheiben für hochentwickelte integrierte Siliziumschaltungen und MEMS-Geräte. 9 B-5 L verwendet eine 12-Achs-Roboterschleifanlage für Schleif- und Polierarbeiten. Je nach Produktionszyklus kann der Bediener aus einer Vielzahl von Schleifscheiben wählen, darunter diamantimprägnierte bis 320 mm Durchmesser und polyimidgebundene bis 220 mm. Die Robotic Grinding Gantry ist in der Lage, eine Vielzahl von Schleif- und Polieroperationen durchzuführen, von der Entfernung feiner Topographien bis hin zu größeren komplexen Aussparungen und Profilierungen. 9B5L ist auch mit einer 5-Achsen-Läpp-/Polierstation ausgestattet. Diese Station bietet die Möglichkeit, Wafer nach höheren genauen Präzisionsstandards zu polieren, was bei der Herstellung von ultrapräzisen Wafern unerlässlich ist. Die Läpp-/Polierbewegung wird von einem motorisch angetriebenen Querträger mit linearen Encodern bereitgestellt, wodurch eine Bewegungsauflösung von 0,01 µm mit Wiederholbarkeit über mehrere Hundertstel Mikrometer erreicht wird. 9B-5L können Wafer zwischen 25,4-203 mm annehmen und Band-, Band- und kundenspezifische Träger akzeptieren. Die gesamte Einheit ist recht robust ausgelegt, und die Robotergantry ist in der Lage, mehr als 25 kg zu heben. SPEEDFAM 9 B-5 L bietet auch ein flexibles Rezept-Management, mit dem Benutzer Parameter wie Geschwindigkeit, Druck und Orientierung während des gesamten Betriebs einfach anpassen können. Insgesamt ist 9 B 5 L eine unglaublich leistungsstarke Maschine zum Automatisieren von Waferschleifen, Läppen und Polieren. Mit seiner breiten Palette an anpassungsfähigen Schleifscheiben und dem präzisen Läppen/Polieren ist dieses Werkzeug in der Lage, ultrapräzise Ergebnisse für fortschrittliche Wafer zu erzielen. Die Robustheit und das flexible Rezeptmanagement machen es perfekt für jede Produktionsaufgabe.