Gebraucht SPEEDFAM 9B-5P #9352976 zu verkaufen

SPEEDFAM 9B-5P ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage, die in der Lage ist, verschiedene Substrate wie Silizium, SiGe, III-V und Ein- oder Mehrschichtfolien zu einer Reihe von Ebenheit, Parallelität und Oberflächengüte Spezifikationen bisher unerreichbar mit herkömmlichen Methoden. Das System ist auf einer Trägerplatte aufgebaut, die aus zwei Platten und einer Deckplatte zum Halten der Wafer-Probe besteht. Druckluft, die drei Regelventilen zugeführt wird, steuert die Vorschubgeschwindigkeit und die Abrichtgeschwindigkeit der Wafer-Probe. Eine Diamantscheibe dient zum Schleifen der Wafer-Probe und ein Kreuzfördermechanismus liefert den für das Schleifen erforderlichen Druck. Zur Auswahl der Schleif-, Läpp- und Polierparameter wird je nach dem zu bearbeitenden Wafersubstrat ein Stift-Auswahlmechanismus verwendet. Das Gerät ist mit einer Konstantdrucklappmaschine und einem wassergekühlten Polierwerkzeug ausgestattet, das eine gleichmäßige Oberfläche auf der Waferoberfläche gewährleistet. Die Anlage verfügt außerdem über einen Positionserkennungs-Quermechanismus, der eine Korrektur und Einstellung des Werkstücks ermöglicht. 9B-5P ist auch mit einem optischen Rückkopplungsmodell ausgestattet, das den Schleif- und Polierprozess kontinuierlich überwachen kann. Dies gewährleistet ein gleichmäßiges Finish mit wiederholbaren Ergebnissen für jede Charge von Waferproben. SPEEDFAM 9B-5P eignet sich gut für Halbleiter und optische Geräte, die eine hohe Ebenheit und Oberflächengüte für ihre Komponenten erreichen müssen und nicht über die Ressourcen verfügen, um in eine komplette Polieranlage zu investieren.