Gebraucht SPEEDFAM Auriga C #141544 zu verkaufen
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ID: 141544
Fully integrated post-CMP cleaner for dry-in, dry-out processing
Double side PVA cleaning through 2-brush boxes using common chemistries
Cleaner water tracks and non-contact rinse ring for minimal surface contact
SECS-II and GEM compliant.
SPEEDFAM Auriga C ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die eine vielseitige Plattform ist, die sich ideal für die Herstellung von Substraten und anderen Produkten eignet. Auriga C bietet ausgezeichnete Oberflächengüte und hohen Durchsatz. Sein fortschrittliches Design ermöglicht es, für viele verschiedene Anwendungen in der Halbleiterindustrie verwendet werden, wie Ausdünnen, Rückseitenschleifen, Oberflächenschleifen, Läppen und Polieren. SPEEDFAM Auriga C ist mit einer Hochgeschwindigkeitsspindel ausgestattet, die Geschwindigkeiten bis zu 15.000 U/min erreichen kann, mit einem einstellbaren Bereich von 400 bis 8.000 U/min. Die Spindel nutzt die FAG E-Learning-Technologie und liefert über viele Waferschleifzyklen hinweg präzise und wiederholbare Ergebnisse. Die Maschine verfügt auch über ein magnetisches Kraftantriebssystem, das hervorragende Schleiffähigkeit für weiche und harte Materialien bietet. Diese Antriebseinheit kann die Genauigkeit des Schleifprozesses unabhängig von der Materialhärte beibehalten. Der modulare Aufbau der Maschine ermöglicht eine vollständige Anpassung, was eine Reduzierung der Zykluszeit und anhaltende Produktivität ermöglicht. Dazu gehört eine breite Palette von Schleifmedien, die von Stahl bis zu Diamantschleifmitteln reichen. Die zusätzliche Möglichkeit eines Aufschleuderfilters gewährleistet die Reinheit der verwendeten Flüssigkeit. Auriga C ist auch mit Staubabscheidung und einer Staubschutzvorrichtung ausgestattet, um Kontaminationen zu reduzieren. Das Staubsammelwerkzeug ist pflegeleicht und verfügt über eine integrierte Staubfilteranlage mit einem einfach zu bedienenden Staubsaugerrahmen. Zum Modell gehört auch ein leistungsfähiger programmierbarer Logikcontroller (SPS), der automatisch alle Aspekte des Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierprozesses steuert. Auf diese Weise können benutzerdefinierte Einstellungen für bestimmte Anwendungen entwickelt werden, um Wiederholbarkeit und Genauigkeit zu gewährleisten. SPEEDFAM Auriga C verfügt über eine Kombination aus hochpräzisen Prüfgeräten, automatisierten Systemen und Software, die konsistente und qualitativ hochwertige Ergebnisse für Substrate und Komponenten gewährleisten. Auriga C ist die ideale Ausrüstung für eine Vielzahl von Fertigungsanforderungen, die Produktionsgenauigkeiten, Flexibilität und Leistungsfähigkeit bietet.
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