Gebraucht SPEEDFAM Auriga EC #141545 zu verkaufen

SPEEDFAM Auriga EC ist eine vollautomatische Schleif-, Läpp- und Polieranlage zum präzisen Schleifen und Polieren von Halbleiterscheiben. Es wurde entwickelt, um präzise Oberflächenebenheit und Seitengenauigkeit mit ultrapräziser Läpp- und Polierqualität zu erhalten. Auriga EC ist eine fortschrittliche Werkzeugmaschine, die das Potenzial bietet, die Prozesszeiten zu reduzieren, den Ertrag zu verbessern und die Genauigkeit der Oberflächenebene durch die Verwendung eines piezoelektrischen Antriebssystems zu verbessern. Zu den Hauptkomponenten von SPEEDFAM Auriga EC gehören eine obere Kopfbaugruppe, in der die Schleif-, Läpp- und Polierhalbleiterscheiben, ein großer Schleif-/Hobeltisch und ein unterer Drehtisch untergebracht sind, der gleichzeitig Wafer schleift und ebnet. Auriga EC ist mit einer Vielzahl von verschiedenen Köpfen und Werkzeugen ausgestattet, die auf die Prozess- und Anwendungsanforderungen des Anwenders zugeschnitten sind. Dazu gehören der Diamant-Planeten-Läppkopf, der Waferschleifer, die lineare Läppmaschine, der Planetenebene-Polierkopf und der einzelne Wafer-Polier. SPEEDFAM Auriga EC wurde entwickelt, um präzise Halbleiterebenheit, Oberflächenrauhigkeit und seitliche Genauigkeit zu erreichen. Auriga EC wird mit einer patentierten CCD-Laserlinienkrümmungsmesseinheit gebaut, die eine präzise Messung der Oberflächenebene mit hoher Genauigkeit ermöglicht. Darüber hinaus kann SPEEDFAM Auriga EC dank seines hochmotorisierten Schwingmotors Ebenheit innerhalb von 0,4 nm erreichen. Auriga EC verfügt auch über eine interne Luftfiltrationsmaschine, die die optimale Luftqualität während der Verarbeitung reinigt und aufrechterhält und chemische Verunreinigungen vollständig entfernt. SPEEDFAM Auriga EC beinhaltet auch ein eingebautes automatisches Wafer-Spannwerkzeug, das den Wafer genau in der Maschine positioniert. Darüber hinaus verfügt Auriga EC über umfangreiche Datenerfassungsfunktionen, die es Benutzern ermöglichen, während des Schleifens, Läppens und Polierens der Wafer erzeugte Daten zu speichern, zu analysieren und zu überprüfen. Schließlich ist SPEEDFAM Auriga EC eine kostengünstige und effiziente Lösung für das Halbleiterwaferschleifen und Polieren. Es ist ein hochgradig anpassbares und benutzerfreundliches Asset, das mit erweiterten Funktionen und Funktionen ausgestattet ist. Auriga EC gewährleistet präzise Ebenheit, Oberflächengleichmäßigkeit und seitliche Genauigkeit, die für die Herstellung von Halbleiterscheiben unerlässlich sind.