Gebraucht SPEEDFAM DSM 16B-5P-V #9148494 zu verkaufen
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ID: 9148494
Weinlese: 2003
Double side polisher
Process: CMP
Capacity(4" Wafer): 4” 40, 6” 20 pcs
Carrier: M3 x Z142 x 5Piece
Upper platen: Φ1154 x Φ364
Lower platen: Φ1154 x Φ364
Plate thickness: Upper 50mm, lower 50mm
Rotation speed
Lower plate 10~60min-¹
Ring gear 5~30min-¹
Sun gear 5~30min-¹
Gease pump: Lube GAS-16-40
Speed controller: SMC AS205IF-06N
Air cylinder: SMC CM2C25-25
Check V/V: SMC AK-4000-02
Pressure switch: CKD P4000-8-IS17
Control panel: 067V103-99
Power unit: A1S61PN
Sequencer CPU: Q2A2CPU
Inverter
(2) FR-A520-15K
FR-A520-1.2K
Speed meter: MITSUBISHI A500
Noise filter: TDIC ZMB2203-11
Load cell: TEAC TC-10F
Air Supply: 0.55~0.6Mpa 60NL/min-¹ ¢3/8Tube
Water Supply: 0.15Mpa 20L/min¢12 Tube
Drain: Φ89
200V, 3P 50/60Hz
2003 vintage.
SPEEDFAM DSM 16B-5P-V Wafer Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung ist ein hochmodernes System, das entwickelt wurde, um eine Vielzahl von Substraten und Wafern effizient zu schleifen, zu schlagen und zu polieren. Es verwendet eine 4-Achsen-CNC-Plattform mit variabler Geschwindigkeit, um präzise und genaue Schleifparameter bereitzustellen, um Wafer mit einer hochwertigen Oberfläche zu produzieren. DSM 16B-5P-V ist eine 16-Zoll-Plattform, die eine Vielzahl von Wafern genau und präzise schleifen, runden und polieren soll. Es verfügt über fünf unabhängig steuerbare Platten, einen Hochdruck-Läppschlitten, eine Hochdruckkammer und eine integrierte Luftlagerspindel, wodurch es möglich ist, bis zu fünf Wafer gleichzeitig zu schleifen, zu schlagen und zu polieren. Das Gerät ist in der Lage, bis zu 500 um ultrafeine Diamantschleifpartikel mit einer Geschwindigkeit von bis zu 400 U/min zu schleifen, zu läppen und zu polieren. Die Maschine kann auch verschiedene andere Schleifsubstrate für feine und grobe Oberflächen akzeptieren. Der Motor mit variabler Drehzahl sorgt dafür, dass der Schleif-, Läpp- und Polierprozess konstant genau und präzise ist. SPEEDFAM DSM 16B-5P-V wurde entwickelt, um unter verschiedenen Bedingungen zu arbeiten, einschließlich Temperatur, Feuchtigkeit und Vibrationen, und kann kalibriert werden, um die anspruchsvollsten Anwendungen zu erfüllen. Es profitiert auch von mehreren mechanischen Systemen für die Sicherheit, einschließlich einer Multi-Point-Sicherheitsverriegelung und einem automatischen Produktionsmodus, um maximale Genauigkeit und konstant hohe Qualitätsergebnisse im Laufe der Zeit zu gewährleisten. DSM 16B-5P-V enthält auch die fortschrittlichste computergestützte Diagnosetechnologie, um eine detaillierte Analyse der Modellleistung bereitzustellen. Das Diagnosegerät ist in der Lage, die Ursache für auftretende Fehler oder Störungen zu ermitteln und kann die Betreiber auf Probleme mit der Systemwartung aufmerksam machen. Dadurch wird sichergestellt, dass das Produkt mit Höchsteffizienz arbeitet und gleichzeitig kostenintensive Reparaturen oder Ausfallzeiten verhindert. Das Gerät bietet auch Echtzeit-Feedback an die Betreiber, so dass sie den Fortschritt der Läpp- und Polieroperationen überwachen können. Zusammenfassend ist SPEEDFAM DSM 16B-5P-V eine hochentwickelte und präzise Schleif-, Läpp- und Poliermaschine. Es ermöglicht die Verarbeitung unterschiedlichster Substrate und Wafer mit noch feinerer Oberfläche, als dies normalerweise bei herkömmlichen Verfahren und Maschinen möglich wäre. Damit ist sichergestellt, dass das fertige Produkt für eine Vielzahl von Anwendungen auf höchstem Niveau ist.
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