Gebraucht SPEEDFAM DSM 9B-5L-IV #9191611 zu verkaufen

SPEEDFAM DSM 9B-5L-IV
ID: 9191611
Weinlese: 2000
Double sided lapping system Without wafer position correcting carrier Includes: Sizing apparatus Slurry tank unit Pump 2000 vintage.
SPEEDFAM DSM 9B-5L-IV ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Das System besteht aus einer integrierten Plattform, die vier Prozessstationen, einen Computerprozessor, eine Bedienzentrale und eine Wafer-Handhabungseinheit umfasst. Diese Prozessmaschine ist einfach zu bedienen, betriebsfähig und effizient. Jede Prozessstation ist mit einem eigenen erweiterten Steuerungstool ausgestattet und kann unabhängig oder unisono betrieben werden. Zu den vier Prozessstationen gehören die Primärschleifköpfe, Läppköpfe und Polierköpfe. Die primären Schleifköpfe sind Hochgeschwindigkeitsspindeln, die Schleifmittelpartikel verwenden, um die Wafer in verschiedene Profile oder Formen zu schleifen. Diese Köpfe sind auch in der Lage, eine dünne Schicht aus Diamantpaste auf die Oberfläche des Wafers aufzubringen. Die zweite Prozessstation enthält eine Reihe von Läppköpfen, die mit Diamantpaste die Oberfläche des Substrats sanft umrunden, um ein präzises Kornmuster zu erzeugen. Die dritte Prozessstation ist mit Polierköpfen ausgestattet, um die Oberfläche des Wafers weiter zu verfeinern und eventuelle Unvollkommenheiten zu reduzieren. Diese Station verwendet ein Poliermedium, um kleine Oberflächenmängel sowie restliche Schleifschutt zu entfernen. Die vierte Prozessstation dient zum abschließenden Polieren der Oberfläche des Wafers unter Verwendung eines Nach- oder Nachbearbeitungsmediums. Die ausgeklügelte Steuerung ermöglicht es Benutzern, den gesamten Prozess von Anfang bis Ende zu programmieren und zu überwachen. Dieses Modell enthält auch einen Computerprozessor, der die Daten und Einstellungen des Benutzers für schnelle Wiederholungsprozesse speichern kann. Die Bedienzentrale umfasst einen Touchscreen für einfache Bedienung sowie eine integrierte Bedienoberfläche zur Programmierung und Überwachung der Schleif-, Läpp- und Polierprozesse. Schließlich umfasst das Gerät ein Wafer-Handling-System, um die Wafer ohne manuelle Handhabung von Station zu Station zu übertragen. Dieser automatisierte Prozess reduziert Zeit, Kosten und Fehler im Zusammenhang mit der manuellen Übertragung. Abschließend ist SPEEDFAM DSM9B-5L-IV eine hochentwickelte und fortschrittliche Einheit, die zum Präzisionsscheibenschleifen, Läppen und Polieren verwendet werden kann. Die Maschine besteht aus vier Prozessstationen, einer Leitstelle und einem Wafer-Handhabungswerkzeug. Diese Ressource ist für eine effiziente und leistungsstarke Produktion konzipiert und gewährleistet wiederholbare Prozessergebnisse.
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