Gebraucht SPEEDFAM DSP 18B-5P #9170546 zu verkaufen
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SPEEDFAM DSP 18B-5P Wafer Schleifen, Läppen und Polieren Ausrüstung ist ein hoch fortschrittliches und automatisiertes, Single-Wafer, Oberflächenkonditionierungssystem für Silizium-Wafer und andere Materialien mit hohen Anforderungen an die Oberflächenvorbereitung verwendet. Diese Einheit ist ideal für große Wafer im Bereich von 50mm bis 200mm Durchmesser und ist in der Lage, atomare, geräuscharme Oberflächenveredelungsfähigkeiten zu erreichen. DSP 18B-5P ist mit einer hochpräzisen Positioniermaschine ausgestattet, die mit einem auf der Spindel montierten Quarzcodierer zur präzisen Steuerung von Mikrostufen ausgestattet ist. Diese Kombination aus Regel- und Regelalgorithmen ermöglicht wiederholbare Prozesse und sorgt für hochpräzise und präzise Polierergebnisse. Das Werkzeug bietet die Wahl zwischen einseitigem Schleifen und Polieren (mit einer einzigen Station) oder doppelseitigem gleichzeitigem Schleifen und Polieren (mit vier Stationen) mit einer einzigartigen patentierten Bearbeitungstechnik. Dieser Vollkontakt-Schleif- und Poliermodus sorgt für einen gleichmäßigen, konstanten Druck auf die Waferoberfläche, was zu sehr gleichmäßigen Oberflächenbearbeitungen und überlegener Qualität führt. SPEEDFAM DSP 18B-5P verarbeitet eine Vielzahl von Substraten, darunter Einkristallsubstrate, Glas und Keramik. Zur präzisen Steuerung des Prozessdrucks wird ein einzigartiges Delta Cu Asset integriert, das zu einheitlichen, wiederholbaren Oberflächen führt. Unter Verwendung eines fortschrittlichen Vakuum-Poliermodells minimiert DSP 18B-5P Abfall und Kontamination. Das Gerät verfügt über variable Geschwindigkeitstechnologie zur Feinabstimmung der Prozessparameter und zur Aufrechterhaltung des exakten Anpressdrucks während des gesamten Prozesses. Jeder der Verarbeitungsschritte wird automatisch in Echtzeit überwacht, die Ergebnisse protokolliert und zur zukünftigen Referenz gespeichert. Das robuste Design des Systems umfasst auch eine Touchscreen-Schnittstelle, verbesserte Sicherheitsfunktionen und eine Reihe von Zubehör für die weitere Automatisierung. Mit seinem robusten, taktilen Design und seinen fortschrittlichen Funktionen ist SPEEDFAM DSP 18B-5P die ideale Lösung für jede Anwendung, die konsistente, überlegene Polierergebnisse erfordert.
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