Gebraucht SPEEDFAM EPX 300X #9398834 zu verkaufen

SPEEDFAM EPX 300X ist eine vollautomatische Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung für Kunden, die hohe Leistung und Geschwindigkeit für ihre Produktionsanforderungen benötigen. Es ist für große Produktionsläufe mit einem maximalen Prozessdurchsatz von bis zu 300 Wafern/Stunde ausgelegt. Das Prozeßmodul kann mit einer 4-achsigen Wickelplatte und einem Polierkopf ausgebildet sein. Es wird mit einem speziellen Schleifmittelspender, einer Methodenbibliothek, einem Prozessüberwachungs- und Steuerungssystem und einer Computerschnittstelle geliefert. EPX 300X verfügt über erweiterte Konstruktionsmerkmale, um Ergebnisse mit hoher Genauigkeit und überlegener Wirtschaftlichkeit zu erzielen. Die Maschine kann die Dicke des Werkstücks sowie die Reibung zwischen den Schleifmedien und der Werkstückoberfläche genau steuern. Dies ermöglicht eine gleichmäßige Schleif-, Läpp- und Polierleistung über den gesamten Wafer. Das Gerät bietet außerdem die Möglichkeit, den Prozess- und Werkzeugverschleiß schnell zu verfolgen und so eine höhere Produktivität und konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Der Polierkopf von SPEEDFAM EPX 300X kann durch eine innovative Rotations-/Slave-Logik gesteuert werden, die unerwünschtes Wackeln verhindert und Poliermuster verbessert. Darüber hinaus ermöglicht die programmierbare digitale Steuereinheit (DCU) automatisierte Prozessstart/-stopp, Temperaturregelung und programmierte Dateneingabe. Die Programmspeicherlaufzeit kann gespeichert und auf verschiedene Plattformen übertragen werden und ermöglicht eine einfachere Datenverfolgung. Um die Sicherheit des Personals zu gewährleisten, ist EPX 300X mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Es verfügt über physische und elektronische Verriegelungen, um das Personal vor direkten Kontaktgefahren zu schützen. Rotor und Motordrehzahl werden ständig mit optischen und elektronischen Sensoren überwacht. Darüber hinaus ist es mit langlebigem, korrosionsbeständigem Material gegen Staub und Flüssigkeiten abgedichtet aufgebaut. SPEEDFAM EPX 300X ist eine hochwertige Scheibenschleif-, Läpp- und Poliermaschine, die auf maximale Produktionsgeschwindigkeit und Wirtschaftlichkeit ausgelegt ist. Die fortschrittlichen Funktionen, Sicherheitsmerkmale und das innovative Design machen es zu einer idealen Wahl für Kunden, die hochpräzise Ergebnisse und Prozesskontrolle benötigen.