Gebraucht SPEEDFAM G-32BTGW #9118185 zu verkaufen

ID: 9118185
Lapper / Polisher, 32".
SPEEDFAM G-32BTGW ist eine leistungsstarke Schleif-, Läpp- und Polieranlage zur Herstellung von Präzisionsflächen auf einer Vielzahl von Halbleiterwafern. Dieses System ist mit zwei unabhängig voneinander steuerbaren Schleifstationen ausgestattet, die eine automatisierte Bearbeitung sowohl der inneren als auch der äußeren Oberfläche des Wafers ermöglichen. Die Spindel und Stufen bieten auch eine variable Drehzahlregelung, um die Verarbeitungseffizienz zu maximieren. Die Konstruktion ermöglicht sehr geringe Geräuschemissionen und Vibrationen und liefert Ergebnisse mit hoher Wiederholbarkeit. Die vollautomatischen Waferbearbeitungsvorgänge von G-32BTGW werden durch eine leistungsstarke DC-Motorantriebseinheit und eine hochpräzise Schrittmotormaschine unterstützt. Die Edelstahlkonstruktion sorgt für eine lange Lebensdauer und ermöglicht den Betrieb der Maschine in einer Reinraumumgebung. Die Wafer sind fest an der Schleifvorrichtung festgeklemmt und für gleichbleibende, genaue Ergebnisse fest gehalten. Das Werkzeug kann auch verwendet werden, um Läpp- und Polierflächen auf Wafern herzustellen. Seine CMP-Stufe verfügt über ein hochsteifes, dreipunktförmiges Stützentwurf, das Vibrationen reduziert und gleichzeitig die Genauigkeit verbessert. Die Einbeziehung von vier Spindeln ermöglicht es dem Asset, mehrachsige Operationen aufzunehmen. Es verfügt auch über ein integriertes Polierpad-Portal, das eine bessere Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit ermöglicht. SPEEDFAM G-32BTGW verfügt über eine intuitive Mensch-Maschine-Schnittstelle, die Setup und Bedienung vereinfacht. Benutzer können Substrate einfach laden und entladen und den Fortschritt der Operationen überwachen. Zudem stehen umfassende Betriebsstatistiken zur Verfügung, die eine effiziente Prozessentwicklung und -steuerung ermöglichen. Fernwartung und Support sind ebenfalls verfügbar. Um maximale Sicherheit zu gewährleisten, ist G-32BTGW mit umfassenden Sicherheitsfunktionen wie Schutzabdeckungen, Verriegelungen und automatischer Notabschaltung ausgelegt. Mit seiner zuverlässigen Leistung und effektiven Sicherheitsmaßnahmen ist dieses Modell eine ideale Lösung für die Herstellung und Verpackung von Wafern.
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