Gebraucht SPEEDFAM JND 9B-5P-IV #9166274 zu verkaufen

SPEEDFAM JND 9B-5P-IV ist eine vollautomatische Scheibenschleif-, Läpp- und Poliermaschine für die hochgenaue Halbleiterverarbeitung. Die Ausrüstung bietet eine breite Palette von Möglichkeiten vom Schleifen großer Wafer (Durchmesser bis zu 6 Zoll) bis hin zu ultrahohen Polieroberflächen. Das System verfügt über ein dreistufiges Verfahren, das zwei Schleifstufen und eine Polierstufe umfasst. Während der Schleifstufen vermittelt die Maschine mit einem diamantgekippten Werkzeug eine sehr hohe Oberflächengüte auf dem Wafer. In der Polierstufe wird das Diamantwerkzeug durch eine Polyurethan-Runde ersetzt und der Wafer langsam um seine Mitte geschleudert, während er manuell gegen die Wappenoberfläche gehalten wird. Dies ermöglicht einen sehr genauen und gleichmäßigen Polierprozess. Die JND 9B-5P-IV Einheit besteht aus einer elektromechanischen Wafer-Handhabungseinheit, einer Zirkulationsfiltrationseinheit, einem Schleif- und Poliertisch, einer Gülleabgabeeinheit und einer Computersteuerstation. Die Wafer-Handhabungseinheit hat einen modularen Aufbau, der zwei unterschiedliche Durchmesser der Wafer-Bearbeitung gleichzeitig ermöglicht. Es hat auch eine eingebaute Sicherheitsfunktion, um Bruch oder Verschmutzung der Wafer während der Handhabung zu verhindern. Die Zirkulationsfiltrationseinheit filtert das verwendete Schleifmittel kontinuierlich zur Wiederverwendung. Der Schleif- und Poliertisch weist zwei separate, motorisch angetriebene Diamantwerkzeughalter auf. Die beiden Halter sind vertikal und horizontal verstellbar, um verschiedene Größen von Wafern aufzunehmen. Die Gülleabgabeeinheit ist ein schwerkraftgeförderter Behälter, der den Diamantwerkzeughaltern die richtige Menge an Flüssigkeitsslurry zuführt. Die Computerkontrollstation wird verwendet, um alle Parameter der Maschine einschließlich Wafergröße und Dicke, Schleif- und Polierzeit und Oberflächengüte zu programmieren und zu überwachen. Insgesamt ist SPEEDFAM JND 9B-5P-IV eine zuverlässige und hochgenaue Schleif-, Läpp- und Poliermaschine, die sich gut für Halbleiterverarbeitungsanwendungen eignet. Der modulare Aufbau sorgt für eine einfache Einrichtung und Bedienung und die Computersteuerung ermöglicht es Benutzern, das Tool schnell und effizient zu programmieren und zu überwachen, um optimale Ergebnisse zu erzielen.