Gebraucht SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 BGW #293800527 zu verkaufen

ID: 293800527
Weinlese: 2008
Lapper / Polisher 2008 vintage.
SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BGW ist eine fortschrittliche Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Es handelt sich um eine doppelseitige Mehrkopf-Läpp-/Poliermaschine zur Herstellung flacher, ebener paralleler und/oder lokal vorgegebener Flächen. Das System wurde entwickelt, um eine hervorragende Oberflächenveredelung für die Herstellung von ultraflachen (2um Level) und hochpräzisen (> 1um) Halbleiterscheiben zu gewährleisten. Das Gerät verfügt über ein konstruiertes Design, das eine Kombination aus hervorragenden mechanischen und technologischen Eigenschaften verwendet. Der vielseitige Läpp- und Polierkopf ist für eine Vielzahl von Anwendungen und Spezifikationen für größere Waferdurchmesser konzipiert. Dazu gehören Waferlappen und Polieren, Abschrägen, Dickpolieren und Nachbearbeiten sowie Planarisieren und Grobpolieren. SPEEDFAM 32 BGW Maschine verwendet auch fortschrittliche digitale Steuerungs- und Programmierfunktionen. Programmierbare Ausgänge und Parameter wie Maschinenzykluszeit, Anzahl der Schritte pro Zyklus, Geschwindigkeitseinstellung und horizontales/vertikales Läppen können mit der benutzerfreundlichen Schnittstelle eingestellt werden. PETER WOLTERS 32 BGW ist mit einem einzigartigen Schiebermechanismus ausgestattet, der eine schnelle und präzise Einstellung von Läpp- und Polierplatten ermöglicht. Dieses Tool enthält auch ein Rezept-Management-Asset, das Rezepte speichert und verwaltet und bei der Optimierung von Prozessparametern hilft. Das Modell ist auch in der Lage, Prozessergebnisse zu drucken und die statistische Prozesskontrolle aufrechtzuerhalten. 32 BGW beinhaltet auch ein Wafer-Handhabungsgerät, mit dem der Wafer genau auf den Schiebern positioniert wird. Das Gerät kann Wafergrößen bis 450 mm handhaben und hat einen Waferdurchmesserbereich von 2mm bis 10mm. Eine voll programmierbare Drehvorschubeinrichtung ist auch für die detaillierte Neigungssteuerung im Lieferumfang enthalten. Insgesamt ist das System SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BGW eine optimierte Lösung zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern, die den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Die fortschrittlichen Funktionen, die digitale Steuerung und die Rezeptverwaltungseinheit ermöglichen es der Maschine, überlegene Oberflächen mit wiederholbaren Prozessergebnissen zu liefern.
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