Gebraucht SPEEDFAM / PETER WOLTERS DC52 #9308055 zu verkaufen

ID: 9308055
System Motor top panel missing.
SPEEDFAM/PETER WOLTERS DC52 ist eine fortschrittliche Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Dieses System führt eine umfassende Palette von Operationen an Halbleiterscheiben und anderen Materialien mit hoher Präzision und Genauigkeit durch. Diese Einheit eignet sich aufgrund ihrer Vielseitigkeit, Robustheit und ihres breiten Anwendungsspektrums ideal für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. SPEEDFAM DC52 verwendet eine hohe Geschwindigkeit, flexible Spindel Design zum Schleifen und Polieren mit einer niedrigen Geschwindigkeit, gegenläufige Spindel für Präzisionslappen. Die Maschine umfasst ein Vakuumfutter, eine einstellbare Spindel, eine Motorspindel, einen Servomotor, einen Bewegungsregler, einen Schrittmotor und optische Messtechnik. Die Parameter jeder Operation können angepasst werden, um verschiedene Wafergrößen, Form und Materialien zu erfüllen. PETER WOLTERS DC52 umfasst ein vollständig geschlossenes Schleif-/Läppmodul, das für hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei Schleif- und Läppprozessen ausgelegt ist. Der Schleif-/Läppvorgang ist eine Kombination aus Schleif- und Läppvorgängen, die Oberflächenunregelmäßigkeiten reduziert und Kratzer auf der Oberfläche des Wafers eliminiert. Der Läppvorgang weist zusammen mit der einstellbaren Geschwindigkeit einen einstellbaren Druck auf. Es ist ideal für Anwendungen wie Oberflächenabflachung, Oberflächentexturierung, Oberflächenveredelung und Waferschneiden. Das Poliermodul von DC52 ist für Anwendungen wie das ultraglatte Polieren von Wafern mit gleichmäßigen Oberflächen konzipiert. Das Polierverfahren umfasst Merkmale wie leistungsstarke Schleiflösungen, einstellbare Geschwindigkeiten und flexible Spindeln. Es ist ideal für Anwendungen wie Oberflächenplanarisierung, Oberflächenentgraten und Mikroveredelung. SPEEDFAM/PETER WOLTERS DC52 verfügt darüber hinaus über ein automatisiertes Metrologie-Tool zur Messung der Wafer bei jedem Arbeitsgang. Die messtechnische Ausstattung ist mit einem hochauflösenden optischen Mikroskop, einem Videomonitor und einer CCD-Kamera zur genauen Messung ausgestattet. Eine Schwingungsisolationstabelle ist auch für verbesserte Effizienz und Genauigkeit im Betrieb enthalten. SPEEDFAM DC52 ist ein fortschrittliches Modell, das zuverlässige und effiziente Leistung liefert und ideal für Anwendungen in der Halbleiterindustrie geeignet ist. Es wurde entwickelt, um die Anforderungen einer breiten Palette von Anwendungen mit hoher Präzision und Genauigkeit zu erfüllen. Es ist eine robuste und vielseitige Ausrüstung, die angepasst werden kann, um eine Reihe von Operationen durchzuführen.
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