Gebraucht SPEEDFAM SH-24 #9255915 zu verkaufen
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ID: 9255915
Weinlese: 1996
Single head polisher, 24"
Plate diameter
Rough polishing: 609.6 mm
Final polishing: 656.0 mm
Pressure plate diameter: 228.6 mm
Polishing plate rotation speed: 6 - 36 rpm
Pressure plate drive speed: 6-36 rpm
Oscillation width: 520 mm maximum
Oscillation speed: 5 - 30 mm/sec
Pressure plate FWD/BWD stroke: 70 mm
Pressure cylinder: 100 x 120 st
Electrical / Air specifications:
Main motor: 2.5 kW, 4 P
Oscillation motor: 0.9 kW
Pressure plate drive motor: 0.2 kW, 4 P
Air pressure: 4.5 - 5.0 kg/cm²
Air supply: 22 N1/hr
Control circuit: 100 V, 1 Phase, 50/60 Hz
Main power: 200 V, 3 Phase, 50/60 Hz
Total: 2.52 kW
1996 vintage.
SPEEDFAM SH-24 ist eine Präzisions-Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die eine ertragsstarke, kosteneffiziente Massenproduktion von ultrahohen Präzisionsscheiben ermöglicht. Es wird mit den neuesten technologischen Fortschritten entworfen und hergestellt, um hochmoderne Leistung und Effizienz zu bieten. SH-24 verfügt über ein innovatives Spindelzuführsystem, das von 1,0 µm bis 160 µm pro Umdrehung indexieren kann. Dies gewährleistet präzise und wiederholbare Läpp- und Schleifergebnisse, um eine optimale Oberflächenbeschaffenheit und Ebenheit zu gewährleisten. Der integrierte zweistufige Servomotor sorgt für hohe Spindeldrehzahlstabilität und ermöglicht das Läppen und Polieren unterschiedlichster Materialien. SPEEDFAM SH-24 verfügt auch über einen fortschrittlichen Läppplattenlader, der das schnelle Be- und Entladen mehrerer Läppplatten für die sofortige Wafervorbereitung ermöglicht. Dies erhöht den Durchsatz und die Produktionseffizienz erheblich. Zusätzlich sorgt der integrierte Nasswäscher für eine gleichmäßige und gleichmäßige Flüssigkeitszufuhr, wodurch das manuelle Wischen und Reinigen entfällt. Darüber hinaus verfügt SH-24 über eine optionale Sichteinheit, die die Waferbearbeitungsstufe überwacht und den Druck und die Geschwindigkeit automatisch anpasst, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Oberflächengüte und Ebenheit auch bei schwer verarbeitbaren Materialien. Eine optionale Substratvorkühlmaschine verbessert die Leistung von SPEEDFAM SH-24 weiter. Dies verhindert mögliche thermische Schäden auf empfindlichen Substraten und minimiert die Gesamtverwerfung. Darüber hinaus bietet das Kühlwerkzeug auch eine hervorragende Prozesskontrolle und Gleichmäßigkeit. Insgesamt ist SH-24 ein vielseitiges, kostengünstiges und zuverlässiges Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierobjekt, das für eine hohe Ausbeute, konsistente und präzise Produktion von ultrahohen Präzisionsscheiben konzipiert ist. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen liefert SPEEDFAM SH-24 genaue und wiederholbare Ergebnisse und gewährleistet gleichzeitig einen hohen Durchsatz, geringere Betriebskosten und eine verbesserte Gesamtproduktivität.
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