Gebraucht SPEEDFAM SNG-32BAW #9279646 zu verkaufen

SPEEDFAM SNG-32BAW
ID: 9279646
Single sided polisher.
SPEEDFAM SNG-32BAW ist eine vollautomatische Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Es ist für die Verarbeitung von 6, 8, 12 und 16 Zoll Durchmesser Wafern mit einer maximalen Kapazität von 16 Zoll. Es verfügt über eine flüssigkeitsgekühlte Spindel für reduzierte thermische Drift und verbesserte Genauigkeit sowie eine dreistufige Spindeldrehzahlregelung. Die Vorrichtung ist auch entworfen, um eine präzise Steuerung des Schleif-, Läpp- und Polierprozesses zu ermöglichen, die Prozessvariation zu minimieren und die Produktausbeuten zu verbessern. SNG-32BAW Funktionen umfassen einen SPS-Controller mit einem Mehrzonen-Umgebungsgehäuse zur Aufrechterhaltung der Temperaturstabilität. Die Maschine ist auch mit zwei separaten Scheinwerfern ausgestattet, die so konfiguriert werden können, dass sie entweder einen oder zwei Wafer gleichzeitig schleifen, und verfügt über eine hochpräzise Spanneinheit für präzise, geringe Mikroschnittschleifgenauigkeit. Die Maschine enthält auch eine Hochdruckschmiermaschine für gleichmäßigen Schleifdruck. Der Läppvorgang wird durch das am Spindelstock montierte innere Planetengetriebe abgeschlossen. Die Maschine verfügt über einen hochgenauen Drehbewegungsantrieb für die Verschiebegenauigkeit von ± 0,3 μ m. Es bietet auch ein Drei-Zonen-Drehzahlregler-Modell für Läppgeschwindigkeitseinstellung und die Fähigkeit, schnell zwischen 6, 8, 12 und 16 Zoll Durchmesser Wafer zu wechseln. SPEEDFAM SNG-32BAW bietet eine Reihe von glänzend werdenden Optionen mit seiner variablen planetarischen Mehrzonengeschwindigkeitskontrollausrüstung und einfachem Programmieralgorithmus an. Mit Hilfe eines Touchscreen-Controllers ist es möglich, einen Schritt-für-Schritt-Polierablauf zu programmieren, der hilft, gleichmäßige Polierergebnisse zu gewährleisten. Zusätzlich können die inneren und äußeren Polierwerkzeuge mit unterschiedlichen Poliergeschwindigkeiten und Einstellungen konfiguriert werden. SNG-32BAW verfügt auch über ein großes Datenerfassungssystem und eine Datenanalyseeinheit, mit der die Prozessleistung verfolgt, analysiert und optimiert werden kann. Die Maschine kann auch an eine optionale computerbasierte Grafikverarbeitungseinheit (GPU) zur erweiterten Datenanalyse und Überwachung der Waferschleif-, Läpp- und Polierprozesse angeschlossen werden. Insgesamt ist SPEEDFAM SNG-32BAW eine sehr vielseitige und zuverlässige Schleif-, Läpp- und Poliermaschine, die präzise Ergebnisse bei minimaler Prozessvariation liefert. Der Einsatz eines robusten SPS-Reglers, eines variablen Geschwindigkeitsregelwerkzeugs und die Datenerfassung und -analyse machen diese Lösung zu einer idealen Lösung für diejenigen, die nach einem robusten und präzisen Schleif-, Läpp- und Poliervorrichtung suchen.
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