Gebraucht SPEEDFAM SP 1200 #9259369 zu verkaufen

SPEEDFAM SP 1200 ist eine automatisierte Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Diese vielseitige Einheit ist für eine präzise und wiederholbare Waferbearbeitung ausgelegt. Neben dem Schleifen und Polieren von Substraten kann die Maschine für feines Waferlappen mit der Möglichkeit verwendet werden, Läppplatten sowohl für die Vorder- als auch für die Rückseite von Wafern zu drehen. Das System ist für die Verarbeitung der größten Wafer (bis zu 500 mm) ausgelegt, die einen hohen Durchsatz und Flexibilität ermöglichen. SPEEDFAM SP-1200 hat eine Arbeitskammer mit Abmessungen von 600x750x525mm (l x b x h). Innenhöhe kann von 380 bis 475mm für Waferdicke und Waferlappen besonders angefertigt werden. Der Innendruck der Arbeitskammer wird durch einen zweistufigen Staubabsauger aufrechterhalten, der sicherstellt, dass die Wafer während des gesamten Prozesses frei von Verunreinigungen gehalten werden. Der automatisierte Prozess wird von einem Roboterarm angetrieben, der mit einer Endeffektoreinheit ausgestattet ist, die ein GLP-Modul (Schleifen, Läppen und Polieren) betreibt, das ein Vakuumfutter, einen Diamantschlammbecher und eine Drehplatte umfasst. Die Drehscheibe dreht sich in einem Bereich von 300-1500 U/min und ermöglicht eine exakte Steuerung der Geschwindigkeit des Schleif- oder Polierprozesses. Das GLP-Modul ist auch mit einer Diagnosemaschine ausgestattet, die Parameter wie Luftzufuhr, Pumpendruck, Schleifkraft und -drehzahl, relative Luftfeuchtigkeit in der Kammer sowie Substratgröße und -druck überwacht. Dadurch wird sichergestellt, dass das Werkzeug optimal arbeitet. Das Gerät verfügt über eine Be- und Entladefunktion für eine einfache Wafer-Handhabung und kann bis zu 50 Wafer-Programme speichern. Es ist auch mit einer intuitiven Benutzeroberfläche ausgestattet, die eine einfache Überwachung und Kontrolle des Assets während des Betriebs ermöglicht. SP 1200 wurde entwickelt, um eine zuverlässige und konsistente Waferbearbeitung zu gewährleisten. Sein robustes und zuverlässiges Modell bietet eine Reihe von Vorteilen gegenüber manuellen Prozessen, einschließlich schnellerer Fertigstellungszeiten, präziser und wiederholbarer Ergebnisse, minimalem Kontaminationsrisiko und verbesserter Prozesskontrolle und -leistung.