Gebraucht SPEEDFAM SP 800 #143296 zu verkaufen
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ID: 143296
Weinlese: 2001
Polisher
Touch panel
Glass size: 370 mm x 470 mm
(1) Slurry tank X
No standard tool kit
220V, 3 Phase, 60 Hz
2001 vintage.
SPEEDFAM SP 800 ist eine Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für die wiederholbare, hochpräzise Verarbeitung fortschrittlicher Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es besteht aus einem auf Tischplatten montierten Spindelarbeitskopf mit integrierter Luftlagerung, verstellbarer und konfigurierbarer Polierstufe und vollautomatischer Rückverfolgbarkeit. Das System nutzt eine drehmomentstarke Niedergeschwindigkeitsspindel mit Luftlagern zur sicheren Handhabung und präzisen Positionierung des Wafers sowie eine einstellbare und konfigurierbare Polierstufe für effektive Polieroperationen. Ein wesentliches Merkmal der Einheit ist ihre Fähigkeit, den Schleif- und Polierprozess präzise zu steuern, indem sie die Belastung überwacht und den Prozess stabil und konsistent hält. Eine vollautomatische Rückverfolgbarkeitsmaschine bietet genaue Aufzeichnungen des Polierprozesses, einschließlich der Schleif- und Polierparameter, der Fehlerwiederherstellung und historischer Trends. Dies hilft, defektbedingten Schrott und Nacharbeit zu minimieren. Es bietet auch ein intuitives grafisches HMI mit integrierten Prozesssteuerungsparametern und Alarmmanagement. Es gibt auch eine große Auswahl an Zubehör, mit dem Benutzer das Werkzeug anpassen und für verschiedene Polieranwendungen konfigurieren können. Insgesamt ist SP 800 eine ideale Wahl für die wiederholbare, hochpräzise Verarbeitung fortschrittlicher Halbleiterscheibenmaterialien.
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