Gebraucht STRASBAUGH 6DS-SP #293594673 zu verkaufen
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STRASBAUGH 6DS-SP ist eine fortschrittliche Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es ist in der Lage, hochpräzise dielektrische und metallbasierte Wafer mit ausgezeichneter Oberflächenqualität herzustellen. Das System verwendet ein präzises Schleifrad und einen Riemen, um die Oberflächenrauhigkeit zu reduzieren, die Materialabtragungsraten zu verbessern und sehr glatte Oberflächen zu schaffen. Wafer Schleifen erfolgt mit diamantbeschichteten Schleifscheibe und Riemen. Diese Kombination bietet überlegene Langzeit-Schleifleistung und Flexibilität und ermöglicht ein effizienteres und konsistenteres Schleifen. Ein kontrolliertes Läppverfahren dient der weiteren Verbesserung der Oberflächencharakterisierung und der Vorbereitung des Wafers zum Polieren. Dadurch wird ein homogenes Läppen und Polieren über die gesamte Waferoberfläche gewährleistet. STRASBAUGH 6 DS-SP Wafer Schleifeinheit ist mit fortschrittlicher Automatisierung und programmierter Rezeptsteuerung ausgestattet, so dass es mit minimalem Benutzereingriff betrieben werden kann. Die Steuerungssoftware wurde entwickelt, um eine einfach zu bedienende, intuitive und leistungsstarke Benutzeroberfläche bereitzustellen. Eine Präzisions-Vision-Maschine wird verwendet, um die Oberfläche jedes Wafers zu inspizieren und Einrichtungsparameter, Materialabtragsraten und Gleichmäßigkeit des Läppens und Polierens zu überwachen. Dies gewährleistet eine qualitativ hochwertige Waferleistung, unabhängig von der Chargengröße. 6DS-SP basiert auf der bewährten STRASBAUGH 6DFTM Plattform und ist kompatibel mit den neuesten Halbleitermetallen, Legierungen und dielektrischen Werkstoffen. Es verfügt über erweiterte Materialhandhabungsfunktionen und bietet maximale Zuverlässigkeit für wiederholbare und reproduzierbare Ergebnisse. Das Werkzeug wurde speziell entwickelt, um Serienläufe von 1- bis 30-Zoll-Wafern mit dünnen Schichten aus Metallmaterialien und dielektrischen Substraten zu bewältigen. 6 DS-SP bietet auch hochpräzise automatisierte Wafer-Prozesskontrolle und Umwelteinschränkung, so dass die volle Kontrolle über die Qualität der Ergebnisse. Es bietet eine breite Palette von erweiterten Steuerelementen, wie Prozessparameteroptimierung und Wafer-History-Tracking, die helfen, Risiken zu reduzieren und Verarbeitungsfehler zu beseitigen. Die Anlage ist unter Berücksichtigung der Qualitätssicherung konzipiert und umfasst wichtige Qualitätskontrollwerkzeuge wie Stressmapping, statistische Prozesskontrolle und Fehleranalyse. In Verbindung mit dem 6DFTM ist STRASBAUGH 6DS-SP ein formidables Modell für die Präzisionswaferbearbeitung. Es ist in der Lage, die anspruchsvollen Lebenszyklusanforderungen von Wafer-Produkten mit hoher Zuverlässigkeit zu erfüllen und ist somit ideal für die Prozessentwicklung und die Produktion geeignet.
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