Gebraucht STRASBAUGH 6DS-SP #293709492 zu verkaufen

ID: 293709492
Wafergröße: 4"-8"
Weinlese: 1994
Polisher, 4"-8" CMP System (2) Tables (Primary and secondary) (2) Slurry dispenses High pressure table rinse bar VIPRR Carriers Zone back pressure Hydrolift load station 1994 vintage.
STRASBAUGH 6DS-SP ist eine Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung für eine Vielzahl von Materialien wie Yttriumoxide, SiC, GaN und Verbindungen auf Si-Basis. Es wurde für die Bearbeitung von Wafern höherer Präzision mit verbesserten Oberflächenveredelungen entwickelt und ermöglicht effizientere und effektivere Läpp- und Polierprozesse. Das System arbeitet, indem es einen Wafereingang nimmt und auf einer Ladestation platziert. Der Bediener wählt dann die gewünschten Schleif-, Läpp- und Polierprozesse aus. Der Wafer wird dann dem Mahlabschnitt zugeführt und dort durch Schleifpartikel gemahlen, die in einem innerhalb der Mahlkammer befindlichen Fluid aufgehängt sind. Dieser Prozess entfernt Material von der Oberfläche des Wafers, so dass Poliervorgänge stattfinden können. Der Wafer wird dann zur Läppstrecke transportiert und dort mit abrasiven Materialien und speziellen Läppflüssigkeiten geläppt. Dieses Verfahren glättet und poliert die Oberfläche des Wafers, um eine gleichmäßigere Oberflächengüte zu erzielen. Schließlich wird der Wafer in die Polierstation eingelegt und vier primären Poliertechniken unterzogen. Zunächst wird der Wafer oberflächlich konditioniert, wodurch Kratzer und Unvollkommenheiten in der Oberfläche des Wafers entfernt werden. Zweitens wird der Wafer einem chemisch-mechanischen Polierprozess unterzogen, der durch den Einsatz chemischer Schleifmittel zur weiteren Glättung und Verfeinerung der Oberfläche beiträgt. Drittens wird der Wafer einem Elektropolierprozess unterzogen, der die Oberfläche des Wafers weiter verfeinert. Schließlich wird der Wafer einem Sub-Mikron-Polierprozess unterzogen, bei dem eine Oberflächengüte erzeugt wird, die eine noch geringere Korngröße als die des vorhergehenden Verfahrens aufweist. Letztendlich ist STRASBAUGH 6 DS-SP eine hochpräzise Scheibenschleif-, Läpp- und Poliermaschine, die Wafer mit verbesserter Oberflächenbearbeitung herstellt und die Menge an Material, das während der Verarbeitung entfernt werden muss, erheblich reduziert.
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