Gebraucht STRASBAUGH 6DS-SP #293747127 zu verkaufen
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STRASBAUGH 6DS-SP ist eine Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung der nächsten Generation, die die zuverlässigste und effizienteste Verarbeitung von Halbleitersubstraten ermöglicht. Das System wurde mit fortschrittlichen Technologien entwickelt, um überlegene Leistung in allen Stufen des Rückseitendünnens, Schleifens, Läppens und Polierens zu bieten. STRASBAUGH 6 DS-SP-Einheit verwendet einen Motor mit variabler Drehzahl, um eine hohe Wiederholbarkeit und einen kontrollierten Prozess zu liefern. Es verfügt über eine SPS-Steuermaschine, um sicherzustellen, dass die gewünschten Maschineneinstellungen und Prozessparameter während des gesamten Prozesses beibehalten werden. Das Werkzeug kann Wafer zwischen 200mm und 300mm im Durchmesser aufnehmen. Das Transportbanddesign bietet Steifigkeit und Genauigkeit sowie eine geringe Platzbedingung für räumlich begrenzte Umgebungen. 6DS-SP verfügt über eine integrierte Querverbindungsförderanlage, die eine optimierte Substratbeladung und Wafermanagement gewährleistet und einen hohen Durchsatz bietet. Seine Prozesskammer verfügt über ein umfassendes Durchlaufdesign, das eine einfache Zugänglichkeit bietet, wenn es Zeit für Reinigungs- und andere Wartungsaufgaben ist. Das Modell verfügt auch über einen Schminktisch außerhalb der Prozesskammer. Dies ermöglicht es dem Bediener, Schleifscheiben vor dem Schleifvorgang bequem anzuziehen. Die Hybridschleifanlage verwendet sowohl Dreh- als auch Planetenbewegungen, um Schwingwege zu schaffen, um eine höhere Schleifeffizienz und Gleichmäßigkeit zu erreichen. Ein hocheffizientes Filtersystem eliminiert luftgetragene Partikel und schützt die Waferoberfläche während des Prozesses. Darüber hinaus verfügen 6 DS-SP-Systeme über ein umfassendes Set an Einrichtungs- und Überwachungstools. Die Software-Suite umfasst hochrangige Prozesssteuerung, Datenprotokollierung, Online-Diagnose und Reporting im Datenformat. Mit der universellen Prozessparameter-Datenbank des Geräts ist eine Echtzeit-Prozesssteuerung möglich, die Anpassungen basierend auf Anwendungsanforderungen ermöglicht. Die Maschine enthält auch eine 3D-Laseroberflächenkarte zur Gleichmäßigkeitsmessung. STRASBAUGH 6DS-SP Waferschleif-, Läpp- und Polierwerkzeug verwendet bewährte Technologien, um zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse in der Halbleitermaterialverarbeitung zu liefern. Bietet schnelle und effiziente Substratbeladung und Wafermanagement, leistungsstarke Motorbeschleunigung und kontrollierte Prozessparameter, so dass es die ideale Lösung für High-Speed-Verarbeitungsanforderungen.
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