Gebraucht STRASBAUGH 6DS-SP #293824915 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293824915
Wafergröße: 8"
CMP Polisher, 8"
Main control cabinet
Polishing module
Wafer handling work area
Process plumbing
Pneumatic regulators
Gauges
Valves
Exhaust ducting
Operator controls
No slurry supply system
No facility hookups
No chiller.
Das Strausbaugh STRASBAUGH 6DS-SP ist eine leistungsstarke und vielseitige Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung für die Halbleiterindustrie. Es ist ein Hochgeschwindigkeits-vollautomatisches System, das für die Herstellung von hochpräzisen Oberflächen für eine Vielzahl von Waferformen und -größen entwickelt wurde. Dieses Gerät bietet eine breite Palette von Anwendungsmöglichkeiten wie Schleifen, Läppen und Polieren für verschiedene Wafersubstrate, wie polykristallines Silizium, Galliumarsenid und mehr. STRASBAUGH 6 DS-SP ist eine besonders effektive und effiziente Maschine zum Verdünnen dünner Wafer. Dieses Werkzeug verwendet eine Hochgeschwindigkeitsspindel, die mit Diamanträdern ausgestattet ist, die gleichzeitig auf allen Seiten des Substrats schleifen, läuteten oder polieren. Diese Spindel ist vertikal auf einem hohen starren, niedrigen Wärmeausdehnungsrahmen montiert, um den Auslauf zu minimieren und die Genauigkeit während der Prozesszyklen zu erhalten. Die Spindel wird von einem Servomotor mit einem Präzisionsgeber gesteuert, der eine dynamische Drehzahlregelung und Rückkopplung bietet, um sicherzustellen, dass die Schleif- und Polierprozesse konsistent und wiederholbar sind. Darüber hinaus verfügt dieses Asset über eine Prozesssteuerung mit geschlossenem Regelkreis, die es Benutzern in erster Linie ermöglicht, die Parameter des Prozesses anzugeben und eine Rückmeldung an den Controller zu liefern, um sicherzustellen, dass die Prozessparameter befolgt werden und die gewünschte Oberflächengüte erreicht wird. Die Näherungssensoren an der Spindel überwachen die Lastkräfte, die dann vom Regler kompensiert werden. Dies hilft bei der Erzeugung von kompatiblen und wiederholbaren Oberflächenergebnissen. Die Strausbaugh 6DS-SP enthält auch eine Vielzahl von eingebauten Sicherheitsmerkmalen, wie Gehäuseverriegelungsschutz und abrasive Kontaminationsschutz. Darüber hinaus wurde dieses Modell entwickelt, um die Wärmeausdehnung zu minimieren und die Bearbeitungszeit durch den Einsatz einer optimierten, hochpräzisen Spindel mit hochpräzisen und hocheffizienten Diamanträdern zu minimieren. Diese Ausrüstung ist kompatibel mit einer Vielzahl von Schleif-, Läpp- und Poliersystemen, wie Laserbearbeitung, herkömmlichen Schleif-, Dünn- und Poliersystemen. Darüber hinaus ist es in der Lage, Wafer mit einer Dicke von 150 μ m - 6 μ m mit einem maximalen Außendurchmesser von 100mm zu handhaben. Der Strausbaugh 6 DS-SP wurde entwickelt, um die Produktivität zu maximieren und gleichzeitig Präzision, Wiederholbarkeit und Genauigkeit zu erhalten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor