Gebraucht STRASBAUGH 6DS-SP #9181741 zu verkaufen
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ID: 9181741
Wafergröße: 8"
CMP Polisher, 8"
(2) Carriers
Data plate
Aluminum platens and lifters
Spare parts included.
STRASBAUGH 6DS-SP ist eine vollautomatische Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage, die eine konsistente, kosteneffiziente Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien bietet. STRASBAUGH 6 DS-SP wurde für einen maximalen Durchsatz innerhalb eines kleinen Platzbedarfs entwickelt und nutzt robuste Komponenten, eine präzise Computerführung und fortschrittliche Prozesssteuerungsalgorithmen, um Durchsatzraten von bis zu 15 Wafern pro Stunde zu erreichen. Das System eignet sich hervorragend für Anwendungen in der Laserbearbeitung von MEMS-Materialien, Halbleiter- und Solarzellen sowie optoelektronischen Komponenten. 6DS-SP enthält eine manuelle Laststation, die mit einem optionalen automatisierten Wafer-Mapping-Scanner integriert ist, um eine optimale Suboberflächengleichförmigkeit und hochpräzise Messungen bis zu 0,1 Mikron zu erreichen. Die Steuerungssoftware basiert auf der neuesten Generation von Hochleistungs- FEI™ (fokussierte Elektrostatik-Instrumente) Technologie, die in der Lage ist, die Form, Größe und Geometrie des Wafers sowie die angewandten Polierprozessparameter nach Bedarf zu verwalten. Das Gerät verfügt auch über eine sechsachsige erzwungene Vibrationsplattform, die eine kleinere Verarbeitung mit reduzierten thermischen Gradienten ermöglicht. Diese Plattform wird über eine intuitive, benutzerfreundliche Oberfläche gesteuert und ist mit der Fähigkeit des Lap-on-Diamond-Polierens bis zu 2 Bogensekunden in allen Achsen bewegungssteuerbar. 6 DS-SP ist auch mit zweidimensionaler In-Process-CCD-Kameramaschine zur Echtzeit-Oberflächen- und Suboberflächenmaterialauswertung ausgestattet. Dadurch werden Echtzeitdaten zur Rückkopplung in das Controlling-Subsystem bereitgestellt. Dieses einfach zu bedienende Werkzeug ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie Not-Aus-Tasten, Spritz-Aus-Alarme und Schnellauslösekomponenten zur mühelosen Änderung von Parametern. Darüber hinaus nutzt STRASBAUGH 6DS-SP sichere Komponenten und entspricht den CE (Conformite Europeenne) Sicherheitsstandards. Es umfasst auch softwarebasierte automatische Prozesssteuerungs- und Monitorfunktionen für eine verbesserte Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Waferbeschichtungsprozesses. Insgesamt ist STRASBAUGH 6 DS-SP eine robuste, hochpräzise Schleif-, Läpp- und Polieranlage, die eine zuverlässige, kostengünstige Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten bietet. Durch die Kombination seiner fortschrittlichen Prozesssteuerungsalgorithmen, einfache Bedienung, Sicherheitsfunktionen und Unterstützung für die neueste Generation der FEI-Technologie ist 6DS-SP ideal für eine Vielzahl von Mikroherstellungsanwendungen geeignet.
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