Gebraucht STRASBAUGH 6EC #293809254 zu verkaufen

STRASBAUGH 6EC
ID: 293809254
CMP System.
STRASBAUGH 6EC ist eine fortschrittliche Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für Durchsatz und Wiederholbarkeit in Produktions- und Forschungsumgebungen entwickelt wurde. Diese vielseitige Maschine ist in der Lage, eine breite Palette von Wafern zu handhaben, einschließlich Silizium, GaAs, GaN und Siliziumkarbid mit runden und rechteckigen Waferkonfigurationen. STRASBAUGH 6 EC besteht aus drei modularen Pods, die maximale Flexibilität für Anwendungsanforderungen bieten. In der Schleifschale wird eine schnelle Stoffentfernung durch den Betrieb von 8 Stationen erreicht, die jeweils zwei Diamanträder enthalten, die sich drehen und oszillieren, um Material von der Oberfläche des Wafers zu entfernen. Leistungsstarke Motoren sowie kundenspezifische Räder ermöglichen hohe Effizienz und Genauigkeit beim Schleifen. Die Läppschale verfügt über ein Präzisions-Güllefördersystem, das undurchsichtige oder transparente Läppflüssigkeit auf die Unterseite des Wafers verteilt. Nachdem der Wafer der Aufschlämmung ausgesetzt wurde, verwenden die Labortechniker des Pods dann einen abschließenden Läppvorgang, um eine homogene Oberfläche bereitzustellen. In der Polierschale stehen 8 Stationen zur Verfügung, die den Wafern eine Kombination aus Abrieb und Ceroxidschlämmen zur Verfügung stellen, um überlegene Oberflächen und eine überlegene Materialentfernung zu erzeugen. Die aktive Güllemanagement- und Wägezelleneinheit sorgt auch bei aggressiven Schlämmen für schnelles und wiederholbares Polieren. Der voll integrierte Roboterarm zwischen den Hülsen vereinfacht die Bedienung und ermöglicht ein einfaches Be- und Entladen von Wafern. Die gesamte 6 E C Struktur, die alle Pods, Motoren, Sicherheitskomponenten und andere Komponenten umfasst, ist in einem Schalldämpfungsschrank eingeschlossen und ermöglicht eine einfache Integration in bestehende Produktionslinien. Der Schrank enthält auch eine Festkörper-Luftfiltrationsmaschine, die beim Fangen und Entsorgen von beim Waferschleifen, Läppen und Polieren anfallenden Abfällen hilft. Für mehr Sicherheit und Komfort ist auch eine Bedienerschnittstelle zur Steuerung des 6-EC-Betriebs vorgesehen. Diese Schnittstelle ermöglicht es Technikern, die Prozessparameter, Testprotokolle und andere Betriebsparameter mit Leichtigkeit und Genauigkeit zu steuern. Darüber hinaus ist das Werkzeug so konzipiert, dass es hohe Produktionserträge mit ausgezeichneter operativer Wiederholbarkeit liefert. Diese extrem vielseitige Maschine bewältigt effizient eine Vielzahl von Wafergrößen, Materialien und Konfigurationen und bietet gleichzeitig einen hohen Produktionsdurchsatz und maximale Wiederholbarkeit. Es eignet sich sowohl für Nieder- als auch für Mittelserien in Forschungs- und Entwicklungsumgebungen.
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