Gebraucht STRASBAUGH 6EC #293816891 zu verkaufen
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STRASBAUGH 6EC ist eine automatisierte voll programmierbare Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Dieses hochpräzise Oberflächen- und Läppsystem ist auf Oberflächen auf Wafern ausgelegt. Es besteht aus vier Hauptreglern: dem Oberflächenregler, dem Orientierungs-/Verriegelungsregler, dem Schleif-/Läppregler und dem Poliersteuergerät. Der Oberflächenregler ist der Kern der Einheit, so dass sich der Bediener schnell von allen mechanischen Schleif-, Läpp- und Polierproblemen erholen und alle Probendrehungen und Sollwerte für die Oberflächengüte steuern kann. Sie ist in der Lage, 3D-Oberflächenprofile zu erstellen und kann bis zu drei Flächen gleichzeitig profilieren. Es hat auch eine Schritt-Scan-Maschine, die nacheinander schreitet, um die Oberfläche jedes Wafers zu überprüfen, Maximierung des Durchsatzes des Werkzeugs. Der Orientierungs-/Verriegelungsregler hält den Wafer sicher und präzise an Ort und Stelle, um sicherzustellen, dass unabhängig von Ort und Größe des Wafers der gleiche Druck ausgeübt wird. Es bietet auch ein schnelles und genaues Umschalten des Verriegelungsmechanismus zwischen der Probenposition. Der Schleif-/Läppregler bietet dem Bediener die Möglichkeit, den Wafer mit unabhängiger geregelter Linear- und Drehbewegung um die Schleif-/Läppplatte herum zu bewegen und Zyklen mit konstanter Kraft durchzuführen. Diese Steuerung beinhaltet eine sequenzielle Stoppbewegung. Die Poliersteuerung wird verwendet, um das endgültige Polieren auf die Oberfläche des Wafers aufzubringen. Es ist in der Lage, die endgültigen Poliergewichte für jede Probe unter Berücksichtigung der Dichte des zu polierenden Materials sowie seiner Abmessungen zu erfassen. Diese Steuerung soll dem Bediener die Möglichkeit geben, den Polierdruck in einem Bereich von niedrig bis hoch zu steuern. STRASBAUGH 6 EC ist eine hochpräzise Anlage, die entworfen ist, um den Druck auf Wafer beim Oberflächenschleifen, Läppen und Polieren gleichmäßig zu verteilen. Mit seinen vier Reglern, der In-Sequence-Stop-Bewegung, der 3D-Oberflächenprofilierung und der Möglichkeit, den Polierdruck zu steuern, bietet 6 E C eine unübertroffene Genauigkeit für die Bearbeitung von Waferoberflächen.
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