Gebraucht STRASBAUGH 6EC #9294179 zu verkaufen

ID: 9294179
CMP Wafer polisher Planarize: 175 mm to 150 mm Wafer thickness: 300 um to 700 um.
STRASBAUGH 6EC ist eine führende Kante, Wafer Schleifen, Läppen & Polieren Ausrüstung. Es wurde entwickelt, um überlegene Ebenheit und Oberflächengüte von Silizium-Wafern zu erhalten, während sie frei von Kontaminationen, Kratzern und anderen Defekten sind. STRASBAUGH 6 EC System ist extrem genau und effizient, da es Oberflächengüte besser als 0,2 nm Ra und extrem enge 3 Sigma Ebenheit von 3um in 12 flachen Orientierung erreichen kann. 6 E C besteht aus vier Hauptstationen, einem Grobschleifen, einem Waferlappen & Entgraben, einem ultrafeinen Läppen & Polieren und einer Reinigungs-/Trockenstation. Die Grobschleifstation dient dazu, die Dicke des Wafers auf die gewünschte Größe zu reduzieren und die Oberfläche von Wafern bei minimaler Oberflächenbeschädigung effizient zu begrenzen. Die Wafer-Läpp- und Entgrabungsstation verfügt über eine magnetische Schwimmerplatte zur schnellen Entfernung von Gülle und Schutt, die einen schnellen Austausch von Pads ermöglicht, die Effizienz verbessert und Verschmutzungen vermeidet. Die ultrafeine Läpp- und Polierstation wurde entwickelt, um eine extrem präzise Oberflächengüte von weniger als 0,2 nm RA zu erreichen. Es kann entweder mit einem Tape Transfer Arm (TTA) oder einem Pad Transfer Arm (PTA) konfiguriert werden. Schließlich verfügt die Reinigungs- und Trocknungsstation über eine integrierte beheizte Trocknungseinheit zur schnellen und gründlichen Trocknung der Wafer mit insgesamt acht Düsen, die eine Spitzenreinigungsleistung bieten. 6EC Maschine verfügt auch über eine Reihe von automatisierten Prozessen, die den Schleif-, Läpp- und Polierprozess optimieren und die Effizienz optimieren. Speziell verfügt es über ein automatisiertes Wafer-Positionier- und Handhabungswerkzeug, automatische Größenverstellmechanismen, Wafer-Klemmen und Entklemmen, Pad und Wafer-Transfer sowie eine Vielzahl von Visualisierungs- und Sicherheitssystemen. Die Gesamtanlage ist auch für robuste, zuverlässige und einfache Wartungserfahrung ausgelegt. Abschließend ist STRASBAUGH 6 E C ein modernes, leistungsstarkes Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliermodell, das entwickelt wurde, um überlegene Ebenheit und Oberflächengüte für Silizium-Wafer zu liefern. Mit seinen leistungsstarken Schleif-, Läpp- und Polierfunktionen sowie automatisierten Prozessen und einfacher Wartung ermöglicht 6 EC nahezu jede Art von Wafer mit beispielloser Präzision und Geschwindigkeit zu schleifen, zu schlagen und zu polieren.
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