Gebraucht STRASBAUGH 7AA #9124369 zu verkaufen

STRASBAUGH 7AA ist eine Präzisions-Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für eine optimale Oberflächengüte einer breiten Palette von Halbleiter-, MEMS, optoelektronischen und verwandten Geräten entwickelt wurde. Es ist in einer Reihe von Konfigurationen verfügbar, die je nach den spezifischen Prozessanforderungen variieren. Das System beginnt mit einem Waferhalter, der bis zu acht Wafer im Durchmesser von 100mm bis 300mm aufnehmen kann. Es verfügt über eine ergonomisch gestaltete Bedienoberfläche, mit der mehrere Prozessabläufe ausgeführt werden können. Der Waferhalter ist mit einer patentierten „schwimmenden“ Waferhalterung ausgestattet, die stabile, wiederholbare Ergebnisse über alle Wafer im Stapel liefert. Um den Produktionsdurchsatz und die Prozesstreue zu maximieren, verwendet STRASBAUGH 7 AA eine Kombination aus Schleif- und Läppoperationen. Der Schleifvorgang wird durch die beiden Waferdrehachsen der Maschine durchgeführt, wodurch drei gleichzeitige Arbeitsgänge möglich sind. Eine oberseitige Diamantscheibe schleift die Oberfläche des Wafers in die gewünschte Form. Eine als Vakuumaufzug ausgebildete zweite Drehachse holt den Wafer aus dem Halter und bewegt ihn durch eine Reihe von Inline-Schleifstationen. Wenn der Wafer jede Station passiert, werden die Einstellungen geändert, um die spezifischen Waferanforderungen zu erfüllen. Für den Läppvorgang verwendet 7AA eine einseitige Platte. Diese Vorrichtung nimmt Läppmaterialien wie Diamantverbindung, Borcarbid, Glasperlen, Siliciumcarbid und andere beliebig auf. Die Platte enthält einen Satz von Rollen, die verstellbar sind, um den optimalen Anpressdruck zwischen dem Wafer und der Läppplatte zu gewährleisten. Nach den Schleif- und Läppvorgängen wird die Polieraktivität von 7 AA durch den Einsatz eines Dreieinstich-Polierwerkzeugs oder von Roboterarm-Polierkissen erreicht. Das brennende Gut ist ein kompaktes Roboterarmmodell, das für eine breite Palette von Polieroperationen wie Planarisierung, Abschrägung, Abschrägung, Kreuzluke und mehr entwickelt wurde. Die Drei-Einrücker-Pads sind für Mikro- und Makropolieraktivitäten konzipiert und verfügen über ein patentiertes Anti-Rutsch-Material, mit dem das Pad während der Polieraktivität den Kontakt mit dem Wafer aufrechterhalten kann. STRASBAUGH 7AA ist auch für wartungsarme Operationen konzipiert. Eine lichtdurchlässige Abdeckung schützt die Ausrüstung vor äußeren Umweltbedingungen und minimiert die Staubverschmutzung. Der eingebaute Mikroprozessor kann programmiert werden, um vorbestimmte Prozesse durchzuführen, wodurch der manuelle Betrieb entfällt und die Wiederholbarkeit über mehrere Produktionen hinweg gewährleistet ist. STRASBAUGH 7 AA verfügt auch über eine Reihe von optionalen Zubehör wie eine peristaltische Pumpe für Nachspülung und DI-Wasser, oder ein HEPA-Filter für einen enthaltenen Prozess.