Gebraucht STRASBAUGH Planarizer #9197592 zu verkaufen

STRASBAUGH Planarizer ist ein fortschrittliches Wafer Schleifen, Läppen und Polieren Ausrüstung entwickelt, um Hochleistungs-Wafer Planarisierung und Oberflächenqualität bieten. Dieses System verwendet mehrere Schleif- und Polierstationen, um die Oberflächenqualität von Geräteschichten wie Oxid, Nitrid, Polysilizium, Wolfram, Metall und anderen spezialisierten Strukturen zu verbessern. Eine vollständig anpassbare Steuereinheit ermöglicht die On-the-Fly-Anpassung an die Substratanforderungen, um nahezu perfekte Substrate für eine Vielzahl von Anwendungen zu produzieren. Zu den Hauptkomponenten von Planarizer gehört eine gleichmäßig ausgewogene, vollständig versiegelte Unterplattenmaschine. Dieses dynamische Unterplattenwerkzeug verwendet mehrere flexible Luftzylinder, um den Schleif- und Polierdruck gleichmäßig über die gesamte Schleiffläche und gleichmäßig über den Schleif- und Polierzyklus zu halten und zu verteilen. Es bietet überlegene Kontrolle über Prozessparameter wie Platten Ebenheit, Schleifdruck und Schleifen und Polieren Konsistenz, um überlegene fertige Wafer zu schaffen. Die Substrate werden in optimierter und automatisierter fiducial Erkennungsrobotik in die Schleif- und Polierstufen des Prozesses bewegt. Eine einzigartige Spannfutter Dämpfung Asset ist entworfen, um gleichmäßig Schleif- und Polierdrücke auf der gesamten Substratoberfläche zu verteilen, während potenzielle Unvollkommenheiten im Finish durch Knicken oder ungleichmäßiges Läppen Druck beseitigen. Das Schleifen und Polieren wird durch ein Rückkopplungsmodell gesteuert, um Drücke und Prozessparameter während des Prozesses genau zu überwachen. STRASBAUGH Planarizer verfügt auch über eine hochauflösende optische bildgebende Ausrüstung zur Verifizierung der fertigen Substratoberflächen. Dieses System verwendet Stereomikroskope und hat helle aufs Feld schickte/dunkle Feldbildaufbereitungstechnologie patentiert, um Bildaufbereitung im Prozess und Überprüfung für eine Vielfalt von Eigenschaften einschließlich Kratzer, Nichtgleichförmigkeit, Schritthöhe, Dicke, Flachheit und anderer fortgeschrittener Oberflächenrauheitsparameter zu bieten. Planarizer bietet eine vollständige Palette von Sputter- und einseitigen Polierlösungen mit maßgeschneiderten Konfigurationen für anwendungsspezifische Prozessrezepte und -anforderungen. Es ist mit einer Fähigkeit zur schnellen Implementierung neuer Prozessrezepte aufgrund seiner patentierten Tischsteuerung und automatisierten fiducial Erkennung Robotertechnologien konzipiert. Die Kombination dieser Technologien ermöglicht den Einsatz von STRASBAUGH Planarizer für unterschiedlichste Schleif- und Polierbedürfnisse.