Gebraucht UEDA / CYBEQ IP 8000 #153732 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 153732
Wafergröße: 6" - 8"
CMP polishing tool, 6" - 8"
Designed to process up to (6) 6" / 8" wafers at once
Integrated head retraction system
Can be modified to include 4" / 5" wafers
At a polish setting of 1 minute:
Cycle time: 6.5 minutes
Throughput: 55 wafers per hour
Dual input wafer cassettes
Load side cassette nests are designed to tilt from 0 to 90°
Unload side cassette nests are open backed and remain at a constant 90° over (2) height adjustable DI water tanks
Each cassette can hold up to (25) 6" / 8" wafers
Each side holds (2) cassettes
Previous processes run: STI, ILD, BPSG, Tungsten (single step Cabot slurry and specific pad), Poly Silicon (addition of a heated platen from a closed loop M&W heater / chiller), silicon wafer reclaim
Wafer planarization of ~50 angstroms across surface of all wafers with a range between heads of <80
Edge exclusion of 3mm achievable
Specifications:
Polishing System:
Employs 3 degrees of motion: platen, carousel, and carriers, plus eccentric motion
Wafer Handling Capacity:
150 mm or 200 mm diameter (100/125mm possible)
2 Cybeq Articulated Robots
2 Head Loading Modules (HLMs)
Dual input and output cassettes
Wafer Carriers/Heads:
6 floating heads (patented design)
Programmable retracting heads allow 2 to 6 wafers per polishing cycle
Programmable speed from 1 to 30 rpm +/- 1%
Programmable uniform down force air pressure from 1 to 10 psi
Powered by a brushless servo motor
Wafer Cleaning:
Automated nozzle rinse with DI water after polishing
Automated low pressure DI water polishing/cleaning cycle after polishing
Platen:
36” diameter
Made of number 304 stainless steel
Polyurethane coated on exposed surfaces for acid based slurries
Programmable speed from 1 to 35 rpm
Programmable rotational direction, cw or ccw
Powered by a brushless servo motor
Optional temperature control unit
Carousel:
30” diameter
Made of anodized aluminium
Polyester-urethane coated on exposed surfaces
Programmable speed from 1 to 30 rpm
Programmable rotational direction, cw or ccw
Powered by a brushless servo motor
Pad Dresser:
Optional 4” or 12” diamond disc
Programmable speed from 1 to 30 rpm
Programmable down force from 0 to 200 lbs
Slurry:
Dual peristaltic pumps feeding through dual or separate PALL filters
System Control:
Microsoft Windows Graphical User Interface (GUI) with front and back TFT touch screen controllers/monitors
Multiple steps of unlimited polishing recipes
Siemens PLCs for motion control
Fully automatic or semi-automatic operation
Optionally SECSI, II, and GEM capable
Facility:
200 –240 VAC, 3 phase 50 – 60 Hz, 60 amps maximum, AC – line filter
CDA, 80-90 psi at 2 cfpm
Nitrogen, 60 psi at 2 cfpm
DI water, 2 to 4 gpm at 40 psi
Slurry, 2 x 1/2” inputs, minimum 12psi.
UEDA/CYBEQ IP 8000 ist eine fortschrittliche Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für mehr Produktivität, Genauigkeit und Effizienz ausgelegt ist. Sie ist für einen umfassenden Anwendungsbereich wie Gerätetechnologien, Halbleitersubstrate und MEMS-Strukturen gedacht. Das System verwendet ein innovatives Design mit integrierten Hardware-, Software- und Automatisierungskomponenten, um Setup und Bedienung zu vereinfachen. Diese Einheit verfügt über eine verstellbare, bidirektionale Schleifscheibe, die auf einer stabilen Plattform montiert ist, und eine steuerbare Läpp- und Poliervorrichtung. Die bidirektionale Scheibe sorgt für gleichmäßiges Schleifen, während die verstellbare Rad für ein leichtes und gleichmäßiges Läppen und Polieren sorgt. UEDA IP 8000 ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu drei Zoll und einer Dicke zwischen 25 und 200 μ m zu schleifen, zu läppen und zu polieren. Es bietet auch genaue, automatisierte Kontrolle über Schleifparameter wie Geschwindigkeit und Druck sowie Läpp- und Polierkraft und Medienvorschubgeschwindigkeit. Darüber hinaus verfügt diese Maschine auch über eine einstellbare Schnitttiefe, die eine automatisierte Feineinstellung der Schleifgeschwindigkeit ermöglicht. Dieses Tool ist für High-End-Anwender konzipiert und verfügt über mehrere Datenein- und -ausgänge, die eine reibungslose und konsistente Integration in eine Produktionslinie gewährleisten. Es bietet auch mehrere Sicherheitsmerkmale wie Türverriegelung und die Fähigkeit, die Geschwindigkeit und Kraft der Schleif- und Läppausrüstung zu modulieren, um mögliche Schäden an Wafern zu minimieren. CYBEQ IP 8000 bietet ausgezeichnete Präzision und ist in der Lage, hochwertige, gleichmäßige Oberflächen zu liefern. Während für High-End-Anwender konzipiert, ist diese Ressource auch für eine breite Palette von Anwendungen geeignet und lässt sich leicht in eine bestehende Produktionslinie integrieren. Mit seinem automatisierten integrierten Design ist dieses Modell eine ideale Wahl für diejenigen, die eine effiziente und zuverlässige Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung suchen.
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