Gebraucht VOUMARD 5A #9350280 zu verkaufen
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ID: 9350280
Universal internal grinding machine
Grinding diameter: 5-200 mm
Grinding depth: 250 mm
Center height: 260 mm
Swing: 300 mm
Work piece length: 500 mm
Spindle taper: 70 m
Work head speed: 125-1000 RPM
Work head swivel: 90°
Table feed: 0-10 m / min
Spindle speed: 3600 - 40000 RPM
Spindle diameter: 90 mm.
VOUMARD 5A ist eine stationäre, vollautomatische Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für die Herstellung von Geräten wie MEMS, SOI, BiCMOS und ASIC verwendet wird. Das System verwendet ein Paar Quarzwaferträger, die in Doppelkammern arbeiten, und einen 6-Achsen-Robotermanipulator, der in der Lage ist, Teile mit 1 μ m Oberflächenrauhigkeit und 50nm Genauigkeit herzustellen. Herzstück des Gerätes ist eine präzise, schleifarme Schleifmaschine, die zur Bearbeitung der Wafer ein flexibles Schleifmittel verwendet. Der Schleifprozess ist modular aufgebaut und ermöglicht verschiedene Arten von Schleifprozessen. Dies führt zu einer gleichbleibenden Oberflächengüte sowie zu einem geringeren Verschleiß der Wafer. 5A verfügt auch über ein erweitertes Läppwerkzeug, das Schleifpaste verwendet, um die Oberflächen des Wafers weiter zu verfeinern. Dadurch kann der Wafer hohe Gleichmäßigkeits- und Oberflächenrauhigkeitswerte erzielen. Das Asset verfügt auch über ein Poliermodell, das eine spezialisierte Polieranwendung namens Quick-Pass verwendet. Dies wird verwendet, um der Waferoberfläche eine hochglänzende Oberfläche zu verleihen. VOUMARD 5A ist eine hocheffiziente und präzise Ausrüstung, die in der Lage ist, qualitativ hochwertige Geräte in kurzer Zeit herzustellen. Es ist auch für niedrige Gesamtkosten ausgelegt, da es entworfen ist, um Zeit, Wartung und Energieverbrauch zu reduzieren. Die Kombination all dieser Funktionen macht 5A zur idealen Wahl für die Produktion von MEMS, SOI, BiCMOS und ASIC-Geräten.
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