Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS FABS-202 #9166885 zu verkaufen
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ID: 9166885
Wafer transfer station
APPLIED MATERIALS Endura etcher system
RORZE
Type no: OCRR8151-001-001
(10) Axes
RORZE Robot
Type no: RR700L120-Z30-011
RORZE Robot controller
Type no: CURR-1076-2.
AMAT (APPLIED MATERIALS )/AMAT/APPLIED MATERIALS FABS-202 Wafer Handler ist eine motorisierte, Vakuum-Handling-Ausrüstung für die schnelle und präzise Beladung von Halbleiterscheiben in Hochtemperatur-Schiffsschubladen und -öfen. Dieses System ist eine ideale Wahl sowohl für die Produktion als auch für die Laborherstellung. AMAT FABS-202 verfügt über eine integrierte Vakuum-Handhabungseinheit mit zuverlässiger Wafer-to-Chuck-Ausrichtung. Die Be- und Entladung von One-Shot-Wafern ermöglicht schnelle Be- und Positionsanpassungen und gewährleistet eine präzise Ausrichtung. Die Vakuummaschine wird durch eine einstellbare Motorgeschwindigkeitsregelung angetrieben, die eine anpassbare Waferbehandlung für unterschiedliche Chipgrößen und -typen ermöglicht. Ein unabhängiges Vakuumwerkzeug ermöglicht maßgeschneiderte Bodenregeln, die eine effiziente Bewegung einzelner Wafer von und zur Plattform fördern. APPLIED MATERIALS FABS-202 beinhaltet auch eine „ground rules“ -Funktion, mit der prozessspezifische Ladeparameter festgelegt, Zeit gespart und die Genauigkeit erhöht werden kann. Es ist auch entworfen, um den Wafer Ladevorgang zu rationalisieren, mit dem Zusatz eines vollständig einstellbaren Anschlag. Dieser Anschlag kann eingestellt werden, um die Zeit für Wafer in und aus Position zu reduzieren, wodurch es möglich ist, mehrere Wafer parallel zu bearbeiten. Das Gerät hat ein sehr niedriges Profil, was eine einfache Montage in einem Produktionsboden ermöglicht. FABS-202 kommt mit einer digital gesteuerten z-Achse zur exakten Steuerung der Waferhöhen. Seine grafische Benutzeroberfläche (GUI) ermöglicht eine intuitive Bedienung und eine einfache Anzeige von Parametern, sodass Benutzer die Einstellungen schnell für eine optimale Leistung anpassen können. Es ist auch mit einer Auto-Sensing-Funktion ausgestattet, die abschaltet, wenn die Temperatur des Ofens eine voreingestellte Grenze überschreitet. Diese Anlage enthält auch eine Not-Aus-Taste, mit der Benutzer das Modell im Notfall herunterfahren können. AMAT/APPLIED MATERIALS FABS-202 kann in einer Vielzahl von thermischen Prozessen eingesetzt werden, einschließlich Glühen, procces-Window-Erstellung, Hochtemperatur-Schadensprüfungen und vieles mehr. Diese Ausrüstung ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsfunktionen ausgestattet, wie automatischer Übertemperaturschutz, geringere Motorabschaltung, EMI-geschirmte Motoren und eine niedrige Spannungsabschaltung. Darüber hinaus ist AMAT FABS-202 CE-zertifiziert und mit ISO 9001-Normen kompatibel, was es zu einem leistungsstarken und zuverlässigen Gerät macht, das maximale Sicherheit und Zuverlässigkeit bietet.
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