Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Rorze RR6140 #157593 zu verkaufen
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ID: 157593
Wafer transfer station
200VAC, 60 Hz
Includes:
RR304L120-123-001 ATM wafer handler robot, 1998 vintage
Controller.
AMAT/APPLIED MATERIALS Rorze RR6140 ist eine multifunktionale Vorausrichtungs- und Wafer-Übergabevorrichtung, die für eine effiziente und zuverlässige Handhabung von Wafern an Fabs entwickelt wurde. Sie dient zum präzisen Transport und Indexieren von Wafern in den Waferlauf- und Zuführsystemen. Das RR6140 ist eine vollautomatische Einheit mit Onboard und autonomer Computersteuerung, SPS und Touch Panel. Die Ausrüstung besteht aus zwei Roboterarmen, einem mehrachsigen Vorausrichter, einem Wafer-Sensorsystem und einer Steuereinheit. Die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht einen schnellen und einfachen operativen Zugriff und die Kontrolle über die Funktionen Pre-Aligner und Wafer Handling. Die sechsachsigen Roboterarme des RR6140 sind mit einem großen Greifer bzw. einem kleinen Greifer ausgestattet. Die unabhängigen Bewegungen der Arme bieten Vollsortimente und Lieferkapazitäten, die ein schnelles und präzises Be- und Entladen von Wafern ermöglichen. Die Arme können je nach Anwendungsfall zusammenarbeiten oder unabhängig voneinander arbeiten. Der mehrachsige Vorligner ist der Kern des RR6140. Es wurde entwickelt, um die Position des Wafers zu erkennen und dem Bediener die genauen Daten zur Größe und Position des Wafers zur Verfügung zu stellen. Das Gerät verwendet eine spezielle Sensoreinheit, um die Abmessungen, Ausrichtung und Schräglage der Wafer genau zu messen. Die Ergebnisse dieser Messungen dienen dazu, den richtigen Ort für eine gleichmäßige und symmetrische Vorausrichtung des Wafers zu bestimmen. Das RR6140 ist für den Reinraumbetrieb optimiert und umfasst einen 400 mm Übergabearm mit staubdichter Dichtstruktur und abnehmbaren Innenplatten. Es enthält auch eine integrierte Fehlererkennungsmaschine, die Wafer-Handhabung und Parameter-Auffälligkeiten überwacht. Das Gerät ist mit einer SMIF-Kammer ausgestattet, mit der der Waferstatus gesichert wird. Das RR6140 erfüllt die Zertifizierungen ISO 13485 und CSA und ist darauf ausgelegt, langfristige Haltbarkeit und Zuverlässigkeit bei der unternehmenskritischen Herstellung von Wafern zu gewährleisten. Das Gerät wurde für die Kompatibilität mit den fortschrittlichsten Prozessumgebungen der Branche optimiert und ist für eine schnelle Einrichtung und einfache Implementierung konzipiert. Insgesamt ist AMAT Rorze RR6140 eine innovative und zuverlässige Wafer-Handling-Lösung, die Wafer in den Waferlauf- und Zuführsystemen präzise und effizient transportieren kann. Sein intuitives Design und seine Benutzerfreundlichkeit machen es zu einer idealen Wahl für Wafer-Fertigungsoperationen.
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