Gebraucht ASM DA 139F #9266304 zu verkaufen
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ASM DA 139F ist eine hochmoderne Wafer-Handhabungsanlage, die darauf ausgelegt ist, Substrate bis 300 mm Durchmesser sicher und effizient zu bewegen, zu drehen, zu übertragen und zu verarbeiten. Es verwendet eine fortschrittliche Kombination aus Hardware und Software, um Benutzern höhere Durchsätze und erweiterte Prozesskontrolle zu bieten. Das System ist für den gleichzeitigen Umgang mit mehreren Substraten konzipiert und ist mit allen gängigen Wafer- und Substrattypen kompatibel, einschließlich Silizium, Keramik und Metallen. Die Maschine umfasst zwei Ladeanschlüsse, eine Hochgeschwindigkeitsplattform und einen Kühlventilator, mit dem die Temperatur der Substrate unter Kontrolle gehalten wird. Die Ladeanschlüsse sind mit einem Low-Profile Stage Rack (LPR) ausgestattet. Dadurch kann das Substrat in die exakte Position gebracht werden, was eine erhöhte Präzision beim Be- und Entladen des Substrats ermöglicht. Die Hochgeschwindigkeitsplattform ist für unterschiedliche Substratgrößen einstellbar und ermöglicht eine Substratbearbeitung oder -drehung bei bis zu 1,5 Grad pro Sekunde. Das Gerät enthält auch einen Roboterarm, um die Substrate an genau programmierten Positionen aufzunehmen und zu platzieren. Die Robotik ist in der Lage, eine Vielzahl von Aufgaben zu erfüllen, darunter Substrathandling, hochpräzise Rotationen und Produktsortierung. Der Roboter ist in der Lage, mögliche Kollisionen zwischen Substraten zu erkennen und trifft geeignete Schritte, um Kontakt zu vermeiden. Die Maschine ist Endeffektor agnostisch und kompatibel mit verschiedenen Arten von Endeffektoren verschiedener Hersteller. Die in das Steuerungstool integrierte Software-Suite ermöglicht es Anwendern, Betriebsabläufe an ihre Bedürfnisse anzupassen und die Anlagenleistung effizient zu überwachen. Die Temperatur- und Feuchtigkeitsüberwachung trägt dazu bei, dass der Prozess im gewünschten Temperaturbereich bleibt und Schäden an den Substraten vermieden werden. Darüber hinaus ist das Modell mit einer Vielzahl von Diagnose- und Sicherheitsfunktionen ausgestattet, wie automatische Abschaltung im Falle einer Verlustleistung oder eines Fehlers. Das Gerät führt auch Aufzeichnungen über alle Verarbeitungsparameter und bietet eine umfassende Bibliothek der verfügbaren Operationen. Zusammenfassend ist DA 139F ein Top-of-the-Line-Wafer-Handling-System, das für eine zuverlässige und effiziente Substratverarbeitung entwickelt wurde. Die Maschine ist mit robuster Robotik, kundenspezifischer Software und modernen Diagnose- und Sicherheitsfunktionen gebaut. Dieses Gerät ist einzigartig entworfen, um maximalen Durchsatz und Qualität zu bieten und gleichzeitig Kosten und Risiken zu minimieren.
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