Gebraucht ASM DA 139L #9266306 zu verkaufen

ASM DA 139L ist ein modernster Wafer-Handler, der bis zu 8 "(200 mm) Durchmesser von Wafern aufnehmen kann. Es ist für die Übertragung von Wafern zwischen einem Träger und einer Waferkassette für mehrere Zwecke wie Herstellung, Prozessentwicklung und Arbeitsabläufe ausgelegt. Dieses Gerät verfügt über einen IE-4500R Roboter und eine EcoPlate (TM) Wafer Handling-Plattform und bietet Bewegungs- und Positionierungsmöglichkeiten für bis zu vier Wafer gleichzeitig. Es enthält auch Autoloader-Software, die automatisch Karten von Wafern in der Kassette erstellt und ermöglicht einen schnellen Wechsel zwischen Wafer-Lose. Die Fähigkeit, substratspezifische Rezepte sofort zu ändern, kann dazu beitragen, die Ausfallzeiten zwischen den Chargen zu reduzieren. DA 139L ist mit zwei Kassetten ausgestattet;; der CLM-1300 ist ein kontinuierlicher Kassettenlader/Entlader und der CW-1300 ist ein subgeteilter Kassettenlader/Entlader. Das CLM-1300 verfügt über einen Hochgeschwindigkeits-50-Wafer-Lader und Entlader, der für ein- oder doppelseitige Waferträger verwendet wird. Der CW-1300sub-split Kassettenlader/Entlader wird für Substrattransfers zwischen den Hauptkassetten und den Sub-Split-Kassetten verwendet. Dieses Gerät kann bis zu zwei Wafer mit 8 "(200 mm) Durchmesser ohne zusätzliche Adapter oder Abdeckungen bedienen. Ein weiteres, einzigartiges Merkmal der CW-1300 ist die Möglichkeit, bis zu fünf Waferträger gleichzeitig zu transportieren, was kostbare Zeit spart und die Gesamtkosten senkt. ASM DA 139L enthält auch mehrere Sicherheitsmerkmale, wie eine elektroempfindliche Schutzvorrichtung (ESPD), die Bewegungssensoren verwendet, um jeden Aufprall von Fremdkörpern auf den Roboterarm zu erkennen und ihn sofort zu stoppen. Sein Design umfasst auch einen Überlastsensor und einen redundanten Roboterarmrock, der Verschmutzungen und Störungen durch externe Objekte verhindert. Over-all ist DA 139L als zuverlässiger, kostengünstiger und effizienter Wafer-Handler konzipiert. Das System ist für die einfache Integration in bestehende Waferbearbeitungssysteme konzipiert und bietet eine breite Palette von Funktionen, einschließlich Kompatibilität mit mehreren Substratverarbeitungstypen, konfigurierbare Orientierungs- und Handhabungsmodi und konfigurierbare automatisierte Sequenzen. ASM DA 139L bietet Anwendern ein zuverlässiges und leistungsstarkes System, das ihnen zu maximaler Effizienz und Produktivität verhilft.