Gebraucht ASML AWH MK3 #9262329 zu verkaufen

ASML AWH MK3 ist eine fortschrittliche Wafer-Handhabungsmaschine für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Es ist für Genauigkeit, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit entwickelt, um sicherzustellen, dass der Prozess des Be- und Entladens von dünn geschnittenen Siliziumscheiben aus der Verarbeitungskammer effektiv, schnell und konsistent durchgeführt wird. AWH MK3 verfügt über einen fortschrittlichen Roboter-Wafer-Handhabungsmechanismus, der eine genaue und schnelle Platzierung von Wafern auf den Dornen der Bearbeitungskammer ermöglicht. Der Robotermanipulator besteht aus einem dreigliedrigen Roboterarm, einem 7-achsigen Positioniermechanismus und einer Vorrichtung zur genauen Erfassung der Position des Wafers beim Be- und Entladen. ASML AWH MK3 ist auch mit einer Vielzahl von fortgeschrittenen Sensoren ausgestattet, einschließlich einer Infrarotkamera, einem Laserverschiebungssensor und einem Bildprozessor, die alle verwendet werden, um die Position des Wafers auf dem Dorn während des Betriebs genau zu erfassen. AWH MK3 ist auch mit einer fortschrittlichen Wafer-Transportausrüstung ausgestattet, die einen reibungslosen und schnellen Wafertransport von der Wafer-Fertigungsanlage zum Bearbeitungsbereich ermöglicht. Das Transportsystem verfügt über Hochgeschwindigkeits-Rolleneinheit mit Sensoren und Laser-Sensortechnik zur Vermeidung von Kollisionen. Die Maschine kann bis zu 8 Substrate pro Zyklus be- und entladen und ist somit ideal für Serienanforderungen geeignet. Darüber hinaus ist ASML AWH MK3 mit modernsten Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Dies beinhaltet ein Energieabscheidungswerkzeug, das alle elektrische Energie von den Be- und Entladesystemen isoliert, um gefährliche Stromunfälle zu verhindern. Die Maschine hat auch eine ausfallsichere Funktion, die verhindert, dass sich der Roboterarm bei Unfällen oder Störungen bewegt. AWH MK3 ist auch mit einer breiten Palette von grafischen Benutzeroberflächen ausgestattet, so dass Benutzer den Betrieb der Maschine einfach überwachen, steuern und aufrechterhalten können. Dazu gehört ein „Touchscreen-Monitor“ mit einer intuitiven, benutzerfreundlichen und interaktiven grafischen Benutzeroberfläche, mit der Benutzer das Asset einfach verwalten, konfigurieren und kalibrieren können. Die Maschine ist auch mit einer Vielzahl von Automatisierungssoftware-Paketen und einer Netzwerkschnittstelle kompatibel, die den Fernzugriff und die Steuerung des Modells ermöglicht. Um die Leistung, Zuverlässigkeit und Sicherheit von ASML AWH MK3 zu maximieren, wurden umfassende Diagnose- und Wartungssysteme in die Geräte integriert. Dazu gehören eine Selbsttestfunktion zur Überprüfung der Leistungsfähigkeit des Systems, eine automatische Kalibrierung zur Einstellung der korrekten Betriebsparameter sowie Warnindikatoren zur Erkennung von Gerätefehlern und Fehlfunktionen. AWH MK3 ist ein fortschrittliches und zuverlässiges Wafer-Handling-Tool, das für die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Mit seiner hohen Genauigkeit und Geschwindigkeit, umfassenden Sicherheitsfunktionen und intuitiven Benutzeroberflächen ermöglicht es Benutzern, Wafer mit Leichtigkeit und Vertrauen genau zu laden und zu entladen.