Gebraucht ASYS LSB03 #9000005 zu verkaufen

ASYS LSB03 ist ein sehr zuverlässiger Wafer-Handler, der Wafer von bis zu 300mm Größe transportiert und platziert. Es verwendet eine vollautomatische Wafer-Manipulationsausrüstung, die in der Lage ist, Substrate unterschiedlicher Größe und Dicke zu übertragen. Das System wurde entwickelt, um eine überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Platzierung von Wafern sowie schnelle Durchsatzraten und eine lange Lebensdauer zu gewährleisten. Die Einheit ist mit einem Pick-and-Place-Transferkopf ausgestattet, der mit einem speziellen Roboter angetriebenen Arm jeden Wafer sicher aufnimmt und in die Wafer-Kassettenschale legt. Der Pick-and-Place-Roboter verwendet eine maßgeschneiderte High-Speed-Vision-Maschine, um den richtigen Wafer in der Kassette genau zu identifizieren und die genaue Position des Substrats relativ zum Roboterarm zu bestimmen. Die Wafer werden mit einer Geschwindigkeit von 100-300 Teilen pro Minute mit einer Positioniergenauigkeit von weniger als 0,02 mm präzise in die Kammer gelegt. ASYS LSB 03 ist außerdem mit einem gasdichten Deckel ausgestattet, um den Wafer vor Umweltverschmutzung zu schützen. Ein Vakuumwerkzeug ist integriert, um bei Bedarf ein sicheres Greifen des Wafers zu ermöglichen, während eine Reihe von Drucksensoren um den Waferumfang herum angeordnet sind, um eine genaue und wiederholbare Platzierung zu gewährleisten. Die optionale Kühlung ermöglicht eine schnelle Kühlung und temperaturgesteuerte Verteilung der Substrate. Dies verkürzt die für die Kühlung benötigte Zeit, da mehrere Wafer gleichzeitig auf eine einzige Kühlplatte aufgesetzt werden können. LSB03 ist sehr benutzerfreundlich und verfügt über ein 15-Zoll-Farb-Touchscreen-Display mit einer grafischen Benutzeroberfläche und intuitiven Bedienelementen. Das Modell ist so konzipiert, dass es in bestehende ASYS-Automatisierungslösungen integriert wird und eine zusätzliche Schicht an Funktionalität und Effizienz bietet. Die Geräte unterstützen auch die Ferndiagnose und -wartung, um mögliche Ausfallzeiten zu minimieren. LSB 03 ist perfekt für Anwendungen, die schnelles und präzises Wafer-Handling erfordern, wie Halbleiterproduktion und Wafer-Integration. Dieses System ermöglicht einen hohen Durchsatz, höhere Produktivität und höhere Genauigkeit. Es eignet sich für Reinraum- und Vakuumanwendungen und ist sowohl in Einzel- als auch in Doppelarmkonfigurationen erhältlich.