Gebraucht ASYST 12000-002 #9013356 zu verkaufen

ASYST 12000-002 Smart Vacuum Handler ist eine Präzisions-Wafer und Substrat Handhabung Ausrüstung entwickelt für eine enge Kontrolle der Prozessparameter in Halbleiter- und Photovoltaik-Zelle Herstellung. Die automatisierte Plattform ist so konzipiert, dass sie alle Funktionen erfüllt, die für einen effizienten Wafertransport erforderlich sind, einschließlich Wafer-Be- und Entladen, Wafer-Vereinzelung, Wafer-Ausrichtung und Wafer-Klemmung. Es kann mit mehreren Vakuumkammern und Port-Shuttles konfiguriert werden und kann mit vor- und nachgelagerten Werkzeugen verbunden werden, um die höchste Produktivität und Produktionsqualität zu erreichen. 12000-002 verwendet ein hochgenaues, berührungsloses Z-Achsen-Messsystem, das entwickelt wurde, um eine präzise Kontrolle der Waferdicke, Wafer-Kette und der gesamten Ebenheit zu gewährleisten. Durch die Zusammenarbeit mit den anderen Systemen auf der Plattform ermöglicht die Z-Achsen-Messeinheit konsistente Waferbearbeitungsergebnisse. Die Maschine verlängert auch die Lebensdauer des Wafers und minimiert Schäden durch mechanischen Kontakt. Der Wafer- und Substrattransport wird durch eine achtachsige Konfiguration ermöglicht, die eine schnelle und präzise „Pick-and-Place“ -Bewegung ermöglicht. Das Werkzeug verfügt über einen breiten Bewegungsbereich, bis zu 190 mm Traverse und eng gesteuerte Fahrgeschwindigkeiten bis zu 2 m/s. Darüber hinaus nutzt die Plattform einzelne Bewegungsachsen, um jeden Wafer mithilfe der Flugbahnplanung sicher zu beschleunigen, zu verzögern oder zu bewegen. ASYST 12000-002 verfügt über eine robuste Konstruktion und integrierte Temperaturregelung. Die Temperatur der Plattform wird präzise in einem Bereich von 20 ° C bis 40 ° C gehalten. Die Temperatur kann auch in Echtzeit mit Prozessvarianten eingestellt werden, wodurch höchste Sicherheit und Zuverlässigkeit der Anlage gewährleistet ist. Um eine zuverlässige Wafer-Handhabung zu gewährleisten, ist das Handling Gantry für eine schnelle, integrierte Vakuumsteuerung ausgelegt. Ein vollständig gekapseltes Vakuum-Modell wird verwendet, um eine optimale Luftströmung, minimale Geräusche und eine präzise Abstimmung der Vakuumpegel zu gewährleisten. Die mehrstufige Vakuumausrüstung sorgt auch für Prozessgleichmäßigkeit über mehrere Wafer. 12000-002 verfügt über erweiterte Programmierfähigkeiten, die eine effiziente Integration in eine Vielzahl von Halbleiterproduktionsprozessen ermöglichen. Die Plattform kann entweder mit G-Code oder einer angepassten Steuersprache programmiert werden. Dies ermöglicht die Systemkonfiguration in spezialisierten Prozessen und ermöglicht höchste Automatisierung und Durchsatz. Das Gerät ist zudem mit einer umfassenden Überwachungsmaschine für die Betriebsgenauigkeit ausgestattet. Durch eine Kombination aus mechanischen und elektronischen Sensoren liefert das Überwachungswerkzeug Echtzeit-Feedback zur Ausrichtung und Position des Wafers. Dies ermöglicht eine schnelle Fehlerbehebung und optimierte Prozesskontrolle für maximalen Ertrag. Insgesamt ist ASYST 12000-002 Smart Vacuum Handler eine fortschrittliche Wafer- und Substrathandhabungsplattform, die in der Lage ist, Prozessparameter in der Halbleiterproduktion genau zu steuern. Seine fortschrittlichen Funktionen ermöglichen eine effiziente Automatisierung und einen hochzuverlässigen Wafertransport und gewährleisten eine maximale Produktion durch eine effiziente Integration in eine Vielzahl von Halbleiterprozessen.