Gebraucht ASYST 12000-004 #9111130 zu verkaufen

ASYST 12000-004 ist ein fortschrittlicher Wafer-Handler, der für erhöhten Waferdurchsatz, höhere Genauigkeit und bessere Prozesssteuerung in Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Dieser Wafer-Handler ist mit der neuesten Generation von reibungsarmen Antriebstechnologie ausgestattet, die eine höhere Beweglichkeit der Geschwindigkeit und eine höhere Genauigkeit während des Wafertransports und der Bewegung ermöglicht. Diese moderne Ausrüstung wurde speziell entwickelt, um die strenge Kontrolle kritischer Fertigungsprozesse zu erleichtern, einschließlich CVD, Ätzen, Lithographie und Diffusion. 12000-004 verfügt über ein achtstufiges Wafer-Speicherfach, das bis zu 600 Wafer speichern kann. Diese erhöhte Speicherkapazität erleichtert den einfachen Zugriff auf große Mengen vorverarbeiteter Wafer, die in der Großserienproduktion kritisch sein können. Das einzigartige Tray-Design ermöglicht auch eine schnelle Rekombination von chargenverarbeiteten Wafern für eine schnelle und präzise Nachbearbeitung. Dieser Wafer-Handler verfügt über eine vollständige Palette von Roboter-Peripheriegeräten, um eine schnellere und genauere Wafer-Handhabung zu ermöglichen. Die Endeffektoren dieses Systems umfassen Aufzüge, Waferstapel, Wafer-Trägerplatten und Stufen für CVD-, Ätz-, Lithographie- und Diffusionsprozesse. Die Endeffektoren sind für maximale Genauigkeit und dicht gesteuerte Waferübertragung und Bewegung ausgelegt. ASYST 12000-004 enthält auch einen Industriecomputer, ein erweiterbares Softwarepaket, Integrationskabel und elektromagnetische Spulenaktuatoren. Für mehr Sicherheit und Schutz verfügt das Gerät über eine eingebaute Sicherheitsverriegelung. Diese Sicherheitssperre ist so ausgelegt, dass die Wafer-Handhabung automatisch eingestellt wird, wenn während des Betriebs anormale Zustände festgestellt werden. Es gewährleistet auch einen kontrollierten Betrieb der Maschine bei Notsituationen und Abschaltungen. 12000-004 ist mit einer umfassenden Reihe von Diagnosen ausgestattet, die wertvolles Feedback über die Leistung des Tools geben und helfen, Probleme zu identifizieren, die im Herstellungsprozess auftreten könnten. Ein Diagnose-LCD-Bildschirm zeigt auch die Leistung und den Zustand des Geräts an und zeigt wichtige Hinweise und Warnungen an. Leistungsmäßig ist dieser Wafer-Handler in der Lage, Wafer bei Toleranzen von ± 0,3 µm zu positionieren. Die schnelle und präzise Waferbewegung wird mit einem fortschrittlichen Bewegungssteuerungsmodell durchgeführt, und der Bewegungsbereich der Ausrüstung beträgt 260 mm (x-Achse), 180 mm (y-Achse) und 115 mm (z-Achse). Dieses System hat auch eine Zykluszeit von weniger als 1,5 Sekunden und ist damit einer der effizientesten Wafer-Handler auf dem Markt. ASYST 12000-004 ist eine fortschrittliche Wafer-Handler-Einheit, die eine genaue und schnelle Wafer-Handhabung bietet und gleichzeitig die höchste Prozesskontrolle gewährleistet. Es verfügt über eine Vielzahl von Roboter-Peripheriegeräten, einen Diagnose-LCD-Bildschirm und eine umfassende Suite von Diagnosesoftware. Es ist in der Lage, hochpräzise Waferbewegung bei Submikron-Auflösungen bereitzustellen, und seine Zykluszeit gehört zu den schnellsten der Branche. Insgesamt ist 12000-004 ein idealer Wafer-Handler für die rasanten, volumenstarken Anforderungen der modernen Halbleiterherstellung.