Gebraucht ASYST 2150 #145900 zu verkaufen
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ID: 145900
SMIF arms
Configuration:
Motor:
Elevt axis motor
Platform axis motor
Rotate axis motor
Tilt axis motor
Pod lock/unlock motor
Belt:
Elevt axis belt
Platform axis belt
Rotate axis belt
Tilt axis belt
C. Sensor:
Elevt axis sensor
Platform axis sensor
Rotate axis sensor
Tilt axis sensor
Pod lock/unlock sensor
Pod in place sensor
Gripper close/open sensor
Ipor squt sensor
PCB IC:
ILQ2
TIT127
Connect / Cable:
Power cable
Signal cable
Currently located in a humidity-controlled room.
ASYST 2150 ist ein modularer und vielseitiger Wafer-Handler, der den Anforderungen automatisierter Wafer-Handling-Anwendungen in der Halbleiterindustrie gerecht wird. 2150 ist ein schneller, effizienter und präziser Wafer-Handler, der Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm handhaben kann. ASYST 2150 kann horizontal oder vertikal in Produktionslinien installiert und integriert werden. Für einen leichteren Zugang kann 2150 mit einem ergonomischen Aufzug oder einem Neigegestell ausgestattet werden. Es verfügt auch über ein optionales Touchscreen-Bedienfeld für verbesserte Benutzerfreundlichkeit. Darüber hinaus ist das Gehäuse entworfen, um es vor Staub, jeglicher mechanischer Beanspruchung und elektrostatischer Entladung zu schützen. ASYST 2150 ist mit einem hochauflösenden Linearmotor zur hochpräzisen Positionierung ausgelegt. Dieser Motor ist auch in der Lage, bis zu 4 Achsen der Bewegung und eine maximale Geschwindigkeit von 10 cm/s zu handhaben. 2150 nutzt schnelle, aktionsgetriebene Wafer-Transporttechnologie mit einem einzigartigen „EZ-Lift“ -Mechanismus, der es ermöglicht, Einzel- oder Multi-Wafer-Transport zu bewältigen. Dieses System reduziert die Zykluszeit und sorgt für optimale Genauigkeit, um Fertigungsfehler und Ausschussraten zu reduzieren. ASYST 2150 verfügt auch über einen sicheren, durchgehenden Plattenförderer, der ein effizientes Beladen und Entladen von mehreren Wafern ermöglicht. 2150 verfügt auch über eine Reihe von Sicherheits- und Überwachungsmöglichkeiten, um seine zuverlässige Leistung zu gewährleisten. Ein optionales softwarebasiertes Stress Control System überwacht die Waferlast auf gleichmäßige Beanspruchung und stellt sicher, dass das Wafer-Handling sicher und stabil ist. Darüber hinaus verfügt ASYST 2150 über ein integriertes Fehlererkennungssystem mit optionalen Alarmen. So können Bediener Fehler schnell erkennen und entsprechende Korrekturmaßnahmen ergreifen. Insgesamt ist 2150 ein zuverlässiger und effizienter Wafer-Handler, der in der Lage ist, eine Vielzahl von Substraten zu handhaben. Der modulare Aufbau und die robusten Funktionen machen es zu einer idealen Wahl für automatisierte Wafer-Handling-Anwendungen. Mit einer Reihe von verfügbaren Optionen kann es einfach eingerichtet und in bestehende Produktionslinien für einen zuverlässigen Betrieb integriert werden.
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