Gebraucht ASYST 9700-6148-01 #9095779 zu verkaufen

Hersteller
ASYST
Modell
9700-6148-01
ID: 9095779
Loadports.
ASYST 9700-6148-01 ist ein Roboter-Wafer-Handler zur Verarbeitung von 8-Zoll-Wafern in der Halbleiterindustrie. Es ist für den Betrieb in Reinräumen der Klasse 100 konzipiert und eignet sich für viele andere Operationen als das Wafer-Handling, einschließlich Back-, Sondierungs-, Mess- und Sortieraufgaben. Der Wafer-Handler besteht aus einer robotischen Hauptbaugruppe, einer Autosampler-Hubeinheit und einer Reihe von peripheren Komponenten, einschließlich Sichtgeräten, Luftventilen, Ventilbaugruppen und Sichtsystemen. Der zentrale Roboterarm ist in der Lage, präzise Bewegung entlang aller drei Achsen, so dass es schnell und präzise Wafer mit einem maximalen Durchmesser von 200 mm manipulieren. Die Autosampler-Aufzugseinheit bietet eine konsistente, wiederholbare und kontrollierte Bewegung von 8-Zoll-Wafern in vertikaler Richtung, wodurch sie effizient vom Wafer-Handler be- und entladen werden können. 9700-6148-01 Wafer Handler verfügt auch über ein Vision-System zur Durchführung von Wafer Inspektion und Messungen an den Wafern vor und nach der Verarbeitung. Die Vision-Einheit verfügt über eine leistungsstarke Zoom-, Aufzeichnungs- und Analysefunktion und wird durch eine Reihe von Beleuchtungsmethoden ergänzt, die eine Vielzahl unterschiedlicher Inspektions- und Messaufgaben ermöglichen. Die peripheren Komponenten des Wafer-Handlers tragen weiter zu dessen Leistungsfähigkeit bei. Die Luftventile ermöglichen die Bewegung und Automatisierung von Waferübertragungen, während die Ventilanordnungen die präzise Auswahl und Manipulation von Waferstellungen ermöglichen. Die Vision-Systeme werden bei Transfervorgängen eingesetzt, um Wafer-Positionen zu verifizieren und das Fehlen von Sputtern, Verschmutzungen und Kantenschäden zu gewährleisten. Schließlich ist ASYST 9700-6148-01 als zuverlässige und robuste Maschine konzipiert, die Wafer-Handling-Aufgaben in Reinraumumgebungen durchführen kann. Um diesen Anforderungen gerecht zu werden, werden Komponenten, Kommunikationsmaschine und Prozesssteuerungssoftware speziell auf die höchsten Standards der Wafer-Handhabung und -Verarbeitung ausgelegt und getestet.
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