Gebraucht ASYST 9700-6208-01 #9194811 zu verkaufen

ASYST 9700-6208-01
Hersteller
ASYST
Modell
9700-6208-01
ID: 9194811
Loaders.
ASYST 9700-6208-01 Wafer Handler ist ein Halbleiter-Bearbeitungswerkzeug entwickelt, um den Prozess der Manipulation und Transport von Wafern während der IC-Herstellung zu automatisieren. Dieser Handler wurde entwickelt, um viele Herausforderungen in der Wafer-Handhabung zu bewältigen, wie niedriger Durchsatz, Warteschlangen von Wafern und Fehlplatzierung von Wafern während der Übertragung. Der Hander besteht aus einem Grundrahmen, der sowohl den vorderen als auch den hinteren Endeffektor, die wiederum die Waferübertragung vorsehen, sowie den Waferaufnehmer und die Handhabung unterstützt. Der Grundrahmen beherbergt auch die Steuerung und die Stützaktuatoren, die die Endeffektoren bewegen können. Die Endeffektoren sind mit zwei Wafer-Handhabungsmechanismen ausgestattet - einem Vakuum-Saugnapf und einem Wafer-Werkzeug zur Erleichterung der Wafer-Manipulation für einen einwandfreien Wafer-Transfer. 9700-6208-01 wird von einer Bewegungskontrollkarte angetrieben. Die Bewegungssteuerkarte verwendet Schrittmotoren, um die genauen Positionen und Bewegungen der Endeffektoren und der Wafer zu gewährleisten. Diese Schrittmotoren sind in zwei Ausführungen erhältlich: (1) mit höherem Drehmoment und längeren Hub für Rampen- und Positionieranwendungen und (2) mit hoher Geschwindigkeit und kürzeren Hub für schnelle, zuverlässige Waferübertragung. Beide Versionen der Schrittmotoren sind temperaturkompensiert und für eine wiederholbare Bewegungssteuerung ausgelegt. Der Wafer-Handler verfügt zudem über ein integriertes Sicherheitssystem für das Wafer-Handling. Das Sicherheitssystem umfasst Sensoren, um zu erkennen, wenn etwas die Waferübertragung stört. Die Sensoren sind mit Verriegelungen verbunden, um die Schrittmotoren und Endeffektoren im Falle einer unerwarteten Verstopfung oder eines unerwarteten Hindernisses abzuschalten. Darüber hinaus verfügt der Wafer-Handler auch über Sensoren zur Erfassung bei unerwarteter Wärme- oder Druckmenge während der Verarbeitung. ASYST 9700-6208-01 Wafer Handler ist ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug für die IC-Fertigung. Es bietet einen stark wiederholbaren Wafertransport- und Handling-Prozess, der Warteschlangen und die Möglichkeit der Verlegung reduziert und manuelle Wafer-Manipulationen überflüssig macht. Das integrierte Sicherheitssystem schützt vor Verstopfungen und übermäßiger Hitze während der Verarbeitung, um mögliche Schäden an den Wafern und dem Werkzeug selbst zu vermeiden.
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