Gebraucht ASYST ALU 2150 #9208208 zu verkaufen

Hersteller
ASYST
Modell
ALU 2150
ID: 9208208
Loaders P/N: 9700-2404-11.
ASYST ALU 2150 ist eine automatisierte, schnelllaufende oblatenbehandelnde Ausrüstung spezifisch hat vorgehabt, den Produktionsbedarf der Halbleiterindustrie zu decken. Mit einer bidirektionalen Hochgeschwindigkeitsübergabe von 150 mm Halbleiterscheiben kann dieses Gerät bis zu 350 Wafer pro Stunde handhaben. ALU 2150 ist speziell für automatisierte Fertigungsprozesse konzipiert, da es keine beweglichen Teile außer den elektrischen Aktuatoren hat, die die Maschine antreiben. ASYST ALU 2150 kann sowohl mit einer einzigen als auch mit mehreren Startkammerkonfigurationen ausgestattet werden, die eine Reihe von Einzel- und Doppeltrage- oder Mehrfacheinführungen ermöglichen. Die ALU 2150 weist einen Schutzwafer-Handler auf, so dass kein physischer Kontakt zwischen dem Wafer und dem Rand des Trägers hergestellt wird. Ein eingebautes Wafer-Zentriersystem sorgt für eine präzise Wafer-Platzierung durch den Z-Achsen-Motor. Darüber hinaus verfügt eine optische Positioniereinheit (OPS) über eine weitere Genauigkeit und bietet eine doppelte Kamerabedienung, um sicherzustellen, dass der Wafer präzise und zentriert im Träger platziert wird. Der Wafer-Handler erstreckt sich und zieht sich zurück, um den Wafer vor und nach dem Einsatz zu greifen. Für den sicheren Betrieb verwendet ASYST ALU 2150 eine statische Ladungsminderungsmaschine, die den Wafer während der Startübergabe von einer Kante des Trägers zur anderen führt und sicherstellt, dass sich keine statische Ladung aufbaut. ALU 2150 verwendet auch ein erweitertes ausfallsicheres Tool. Dadurch wird sichergestellt, dass die Maschine nach Feststellung eines Fehlers automatisch auf einen neuen Waferträger umschaltet, so dass der Prozess während der Wartung des betroffenen Moduls fortgesetzt werden kann. ASYST ALU 2150 ist extrem zuverlässig und effizient, mit seinem fortschrittlichen Design und einer breiten Palette von Funktionen. Seine anpassbare Einrichtung und High-Speed-Funktion machen es zu einer idealen Wahl für Produktionsumgebungen. Darüber hinaus verfügt es über eine intuitive Benutzeroberfläche mit Optionen für lokale Steuerung und Fernzugriff. Dadurch wird sichergestellt, dass die Bedienerfreundlichkeit erhalten bleibt. ALU 2150 ist perfekt zum Entfernen und Handhaben von 150 mm Halbleiterscheiben mit großer Präzision und Geschwindigkeit.
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