Gebraucht ASYST ARM 2200-V111S #129936 zu verkaufen

ASYST ARM 2200-V111S Wafer Handler ist eine leistungsstarke, kostengünstige Roboterausrüstung, die den Anforderungen der Halbleiter- und verwandten Industrien gerecht wird. Das System ist ein zweiarmiger einachsiger Wafer-Handler. Sein Hauptziel ist der Transport von Wafern von einem Prozesswerkzeug zum anderen. ASYST ARM 2200 V111S ist mit zwei unabhängigen Roboterarmen ausgestattet. Jeder Roboterarm hat fünf Freiheitsgrade und verwendet die hochmoderne Präzisionsbewegungssteuerung und Kraftrückkopplungstechnologie, um genaue, wiederholbare Bewegungen durchzuführen. Die Bewegungssteuerung wird von Servomotoren angetrieben, die mit Präzisionslagern gekoppelt und an einem Aluminiumboden befestigt sind. Die Erweiterung der Maschine ist einfach, da jeder Arm je nach Prozessanforderungen leicht hinzugefügt oder entfernt werden kann. Für den automatisierten Wafertransport steht ein optionaler Wafer Shuttle zur Verfügung. Dieses Shuttle ist in der Lage, mehrere Wafer gleichzeitig zu transportieren, was einen schnelleren Wafer-Handhabungsprozess ermöglicht. Ausgestattet mit einem Vision-Sensor und automatisierten Wafer-Handling-Prozessen kann das Shuttle programmiert werden, um Wafer von einem Prozesswerkzeug zum anderen zu bewegen. ARM 2200-V111S ist für die Arbeit in Reinräumen konzipiert und mit den meisten Standardprozesswerkzeugen kompatibel. Es ist auch mit einem Laser Interferometer Tool (LIS) für Präzisionsausrichtung und Wafer Positionierung ausgestattet. Das LIS umfasst zwei einstellbare Kanäle mit jeweils einem Laser- und einem optischen Detektorpaar. Das Asset umfasst auch eine webbasierte Remote-Service-Schnittstelle, um den Fernzugriff und die Diagnose zu aktivieren. Diese Schnittstelle ermöglicht die Remote-Fehlerbehebung, Programmierung und Wartung. Darüber hinaus verfügt das Modell über benutzerwählbare Übergabefunktionen für externe Automatisierungssysteme. ARM 2200 V111S ist sehr zuverlässig und robust, so dass es eine große Auswahl für eine breite Palette von Operationen. Darüber hinaus lässt sich der modulare Aufbau einfach in bestehende Fertigungsvorgänge integrieren. Dies macht es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Branchen, die eine genaue und zuverlässige Wafer-Handhabung erfordern.