Gebraucht ASYST ARM 2200-V111S #293754970 zu verkaufen

Hersteller
ASYST
Modell
ARM 2200-V111S
ID: 293754970
Load port P/N: 9700-2768-01.
ASYST ARM 2200-V111S ist ein vielseitiger und zuverlässiger Wafer-Handler, der speziell auf die Anforderungen von Halbleiterprozessanwendungen zugeschnitten ist. Es ist ein fortschrittliches automatisiertes Tool, das zuverlässige und effiziente Wafer-Übertragung, Ausrichtung und Stapeln bietet. ASYST ARM 2200 V111S verfügt über zwei unabhängige Z-Achsen-Linearantriebe, vier separate Armbaugruppen und insgesamt 11 Wafer-Transportstellen. Dadurch kann er seine Bewegungen schnell synchronisieren, um eine genaue Positionierung und Lieferung zu ermöglichen, ohne zwischendurch pausieren zu müssen. Darüber hinaus verfügt ARM 2200-V111S über eine innovative leitfähige Antriebstechnik, die Verschmutzungen verhindert und gleichzeitig eine elektrische Verbindung mit dem Substrat ermöglicht. Der Roboter ist in der Lage, Wafer von bis zu 8 Zoll Durchmesser zu tragen. Es hat einen Z-Achsen-Bewegungsbereich von bis zu 8 mm, und die Aktorspitze kann eine maximale Beschleunigung von 200 mm/s2 für einen schnellen und präzisen Betrieb erreichen. Es ist auch so konzipiert, dass es Prozessverschmutzungen und zahlreichen schnellen Beschleunigungs- und Verzögerungszyklen standhält, ohne seine Leistung zu beeinträchtigen. Der Roboter wird von einem eVolveIO-basierten Controller gesteuert. Es verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche und bietet umfassende E/A-Optionen, einschließlich einer dedizierten Ethernet-Verbindung für externe Kommunikation und Steuerung. Darüber hinaus ist der Roboter mit einer integrierten V8 + Software-Suite für Initiierung, Handshaking, Ausführung, Datenprotokollierung, Überwachung und andere Steuerungsfunktionen ausgestattet. Schließlich ist ARM 2200 V111S so konzipiert, dass er jede Komplexität der Bewegung bewältigen kann. Es kann anspruchsvolle, schnelle Datenerfassung, Streuung und Ausrichtung Aufgaben für anspruchsvolle Halbleiterverarbeitung Anforderungen ausführen. Dies macht es zu einer idealen Wahl für jede Halbleitereinrichtung.
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