Gebraucht ASYST ARM 2200 #9189323 zu verkaufen

ASYST ARM 2200 ist ein Wafer Handler, der entwickelt wurde, um 300mm Halbleiterscheiben von Prozessen zu Prozessen innerhalb einer Wafer Fab zu bewegen. Es ist in der Lage, bis zu zwei Flächen von Wafern auf einmal zu handhaben, so dass es ideal für mehrschichtige Wafer-Prozesse. Dieser Wafer-Handler ist mit einer festen internen Transferkammer ausgestattet, die für eine ultra-niedrige Partikel- und Kontaminationskontrolle ausgelegt ist, um die Waferintegrität zu gewährleisten. Das Gerät verwendet einen Hochleistungs-invertierten Z-Arm, der sich in einer vertikalen Ebene bewegt und über einstellbare Technologie für den Betrieb mit jedem flachen Wafer verfügt. Für einen schnellen Betrieb verfügt das Gerät über E3-Motoren, die es dem Arm ermöglichen, die Wafer schnell von der Eingangsstation zur Ausgangsstation zu bewegen. Die Encoderausrüstung ist für hohe Präzision und Wiederholbarkeit optimiert, um die Genauigkeit im Betrieb zu gewährleisten. Dieser Wafer-Handler verfügt auch über eine Keramikkammer, um Arbeitszykluszeiten zu verlängern und den Bedarf an häufiger Reinigung zu reduzieren. Zusätzlich wird eine Mehrzonentemperaturregelung zur gleichmäßigen Temperaturverteilung ohne Übertemperaturbedingungen eingesetzt. ASYST ARM-2200 verfügt über ein spezielles Vakuumsystem, das Wafer beim Übergang zwischen Prozessen sicher halten und bewegen kann. Außerdem wird ein Luftkissen verwendet, um sicherzustellen, dass der Wafer bei Niederdruckprozessen sicher gehalten wird. Das Gerät bietet auch automatische Fokusausrichtung, Waferzentrierung, automatische Temperaturnachstellung und spannungsfreie HOLD/RELEASE-Operationen. Dadurch kann eine Feinlagegenauigkeit bei der Übertragung dünner Wafer zwischen Prozessen erreicht werden. Der Wafer-Handler ist mit einem Edelstahl-Chassis konstruiert, das robust und langlebig genug ist, um über einen langen Zeitraum zu halten. Es verfügt außerdem über einen kontaktlosen Wafer-Mount-Adapter und eine zweimotorige Wafer-Transfer-Maschine für verbesserte Leistung. Das integrierte Steuergerät der ARM 2200 verfügt über eine grafische Benutzeroberfläche (GUI) zur einfachen Bedienung des Geräts. Das Gerät wird auch mit Software-Updates geliefert und enthält Echtzeit-Überwachung und Diagnose für mehr Zuverlässigkeit.