Gebraucht ASYST Axys 21 #293804866 zu verkaufen

Hersteller
ASYST
Modell
Axys 21
ID: 293804866
Weinlese: 2002
Robot 2002 vintage.
ASYST Axys 21 ist ein hochpräziser, automatisierter Wafer-Handler, der von ASYST Technologies entworfen und hergestellt wurde, einem internationalen Unternehmen, das sich auf Wafer- und Montageautomationslösungen spezialisiert hat. Axys 21 ist ein Mehrzweckwerkzeug, das speziell für den Umgang mit blanken und verpackten Wafern in einer Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde, einschließlich Inspektion, Handhabung, Test, Sortierung, Bild, Markierung und Übertragung. ASYST Axys 21 kann Wafer bis 200 mm Durchmesser handhaben, hat eine Genauigkeit im Bereich von 10-20 µm und kann bis zu 21 Wafer gleichzeitig verarbeiten. Es ist mit zwei unabhängigen Waferchucks ausgestattet, die eine glatte und präzise Waferdrehung ermöglichen und auf eine Vielzahl von Substraten wie Hochtemperatursubstrate, SOI-Wafer und GaAs-Wafer zugeschnitten sind. Um den Durchsatz zu maximieren, wird jedes Wafer-Spannfutter von einem eigenen Zwei-Achsen-Bewegungsregler angetrieben, um in flacher Wafer-Position bis zu 0,01 ° Präzision zu liefern. Darüber hinaus verbessert die Autostation den Wafer-Entlade- und Beladeprozess und ermöglicht eine reibungslose und genaue Übertragung auf Kassetten sowie die Erleichterung der Beladung von Dummy-Wafern. Die integrierten Optionen ermöglichen auch vielfältige Anwendungen, darunter hochpräzise Sortierung und Bildverarbeitung zur Wafer-Identifizierung und Markierungserkennung. Darüber hinaus ermöglicht ein Touchscreen-Panel eine einfachere Einrichtung und Parameteränderung sowie eine Echtzeit-Job-Fortschrittsüberwachung. Die Verwendung eines 8M-Byte SDRAM-Speichers ermöglicht eine effektive Pufferung von Wafern während Test-, Sortier- und Bildverarbeitungsvorgängen. Axys 21 wurde entwickelt, um eine breite Palette von Branchen wie Halbleiter, Flachbildschirm und MEMs zu bedienen. Mit seinen eingebauten Funktionen wie überlegener Genauigkeit, geringer Platzbedingung und breiter Substratkompatibilität ist er ein idealer Wafer-Handler für industrielle Anwendungen.
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