Gebraucht ASYST Axys 21 #9283263 zu verkaufen

ASYST Axys 21 ist ein Wafer-Handler zum automatisierten Be- und Entladen von Halbleiterwaferträgern in industrietauglichen Fertigungsumgebungen. Mit fortschrittlicher Roboterbewegungssteuerung und luftgepolsterter Präzision kann Axys 21 E-Strahl- und Ionenimplantierer sowie eine Vielzahl anderer Waferbearbeitungssysteme erleichtern. Dies gewährleistet die sichere und zuverlässige Handhabung von Waferträgern mit verschiedenen Größen, Gewichten und Formen. Der Wafer-Handler ist mit einem ausgeklügelten Sichtsystem ausgestattet, um Wafer mit höchster Genauigkeit zu lokalisieren und zu greifen. Hochleistungs-bürstenlose (BLDC) Motoren sorgen für stabile und glatte Bewegung, während der eingebettete optische lineare Encoder die Positioniergenauigkeit beibehält. Um Beschädigungen der Wafer zu vermeiden, verwenden die Shuttles, die die Waferträger bewegen, luftgepolsterte Hebemechanismen. Der Lift unterstützt bis zu 30kg und arbeitet bei Temperaturen von 0 ° C bis 40 ° C. ASYST Axys 21 enthält zudem eine integrierte Waferreinigungslösung mit integrierter bürstensitzender Reinigungswalze und Liquidflow-Design. Darüber hinaus verfügt Axys 21 über ein intuitives Touchscreen-Bedienfeld und eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche zur einfachen Bedienung und Überwachung von Prozesszuständen. Integrierte Sicherheitsfunktionen umfassen Alarme für Stromausfall, Luftdruckverlust und manuellen Betrieb. Es enthält auch Sensoren, die Wafer-Obstruktion, Wafer-Fehlausrichtung und andere mögliche Fehlfunktionen erkennen. Ferner enthält der Wafer-Handler als zusätzliche Absicherung einen E2-Not-Aus-Wähler. ASYST Axys 21 ist kompatibel mit den meisten branchenüblichen Halbleiterfabriken und Prozessmodulen. Das System bietet eine Nennzykluszeit von 1,2 sec und bietet eine Kapazität von bis zu 1.000 Waferträgern mit optionalem Lader. Darüber hinaus wurde es entwickelt, um Prozessausfallzeiten zu minimieren, die gesamte Prozesseffizienz zu verbessern und die Wartungskosten zu senken. Kurz gesagt, Axys 21 ist ein fortschrittlicher Wafer-Handler, der das Be- und Entladen von Waferträgern für eine Vielzahl von Anwendungen automatisiert. Es enthält eine Reihe von anspruchsvollen Bewegungs- und Sicherheitsfunktionen, um einen zuverlässigen und sicheren Betrieb zu gewährleisten.