Gebraucht ASYST Custom #293657970 zu verkaufen
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ASYST Custom ist ein modernster Wafer-Handler für die Verarbeitung verschiedener Arten von Wafersubstraten und -materialien. Es wird bei der Herstellung und Herstellung von Halbleiterscheiben verwendet, die die Schlüsselkomponenten bei der Herstellung von integrierten Schaltungen sind. Dieser Handler hat einen modularen Aufbau, der Flexibilität in der Produktion und die Fähigkeit ermöglicht, sich schnell an sich ändernde Kundenanforderungen anzupassen. Custom ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, die eine effiziente und sichere Wafer Handhabung Ausrüstung bieten. Zum einen enthält der Handler Waferkantendetektoren, mit denen die Merkmale eines Wafers erfasst werden, bevor er in die Verarbeitungskette eintritt. Es verfügt auch über ein integriertes RFID-Scan-System, um schnell verschiedene Wafertypen zu sortieren und den Ursprung jedes Wafers zu identifizieren. Dies ermöglicht einen schnellen Rückruf im Falle eines Produktionsfehlers. Zweitens wird der Handler mit fortschrittlichen aktiven Schwingungsisolationssystemen gebaut, um eine ausgezeichnete Stabilität und vibrationsarme Funktion während der Waferbearbeitung zu gewährleisten. Diese Einheit umfasst auch Luftverschlusssysteme auf jeder Seite der Kammer, die die Wafertemperatur und Feuchtigkeit vor einer drastischen Veränderung während einer Übertragung bewahren. Die aktiven Positioniersysteme des Handlers werden in hochpräziser linearmotorischer Bewegungstechnik hergestellt. Diese Technologie ermöglicht eine reibungslose und genaue Handhabung von Wafern, auch bei Hochgeschwindigkeitsbearbeitung. Die entscheidenden Komponenten des Handlers, wie die Roboter und Aktoren, verwenden Kraft-Sensing-Technologie, um die hochpräzise Ausrichtung von Wafern zu gewährleisten. Schließlich ist die automatisierte Reinigungsmaschine von ASYST Custom entworfen, um alle Oberflächen in Kontakt mit Wafern vollständig zu reinigen, einschließlich des Roboters, des Vakuumfutters und der Förderer. Dadurch wird verhindert, dass Staub und andere Partikel in die Prozesskammer gelangen, wodurch empfindliche Komponenten beschädigt werden können. Abschließend bietet Custom eine zuverlässige und effiziente Wafer-Handling-Lösung für die Herstellung fortschrittlicher integrierter Schaltungen und Halbleiter. Es bietet eine Reihe von Funktionen für Sicherheit und einfache Handhabung, einschließlich Waferkantendetektoren, integriertes RFID-Scannen, fortschrittliche aktive Vibrationsisolierung sowie ein automatisiertes Reinigungswerkzeug.
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