Gebraucht ASYST INX 2200 #293588012 zu verkaufen

ASYST INX 2200 ist ein Wafer-Handler, der zum Bewegen, Ausrichten und Übertragen von Wafern in verschiedene Bearbeitungswerkzeuge für die Halbleiterherstellung wie Lithographie, Ätzen und Abscheidungswerkzeuge entwickelt wurde. ASYST INX2200 verfügt über zwei lineare Transportmechanismen, die von 4 Schrittmotoren angetrieben werden. Er ist in der Lage, mit einer maximalen Wafer-Handhabungsgeschwindigkeit von 1,0 m/sec und einer maximalen Transportgeschwindigkeit von 6 m/sec zu arbeiten. Wafer reichen von 3 Zoll bis 8 Zoll und die maximale Gewichtskapazität beträgt 2 kg. INX-2200 verfügt über eine Reihe integrierter Sicherheitsfunktionen, einschließlich eines automatischen Abschaltmechanismus, der aktiviert wird, wenn der Wafer sein Transportziel nicht erreicht, und eines Stromausfallschutzsystems. Zusätzlich ist die Einheit mit einer Wafer-Zentriervorrichtung ausgestattet, die den Wafer drehen und positionieren kann, um eine genaue Wafer-Handhabung zu gewährleisten. Ein Wafer-Ladesystem, das eine Zentrierführung verwendet, ist ebenfalls enthalten, um ein genaues Einlegen des Wafers in das Werkzeug zu gewährleisten. ASYST INX-2200 ist mit einer Reihe von Steuerungssystemen und Bewegungsreglern ausgestattet, die es ermöglichen, sie in eine Vielzahl von Halbleiterverarbeitungswerkzeugen zu integrieren. Dies ermöglicht eine präzise und automatisierte Steuerung der Einheit und ihrer Funktionen. Die Steuerungssysteme erleichtern auch die Nachführung des Wafertransports, so dass Daten, die für die Prozesssteuerung und statistische Prozesssteuerung (SPC) benötigt werden, gemeldet werden können. Neben der Wafer-Handhabung kann INX 2200 auch Wafer-Trennung und -Ausrichtung sowie Prozesskammerluftfiltration durchführen. Dazu gehört auch die Reinigung der Luft mit einem Reinraumfilter, der eine Verschmutzung des Wafers verhindert. Diese Filtration trägt auch dazu bei, das Risiko einer Partikelverunreinigung zu reduzieren. INX2200 ist modular aufgebaut und ermöglicht eine einfache Installation, Wartung und Aktualisierung. Es unterstützt auch große Systemintegrationen, wie Mehrkammersysteme, und seine modernsten Technologien ermöglichen es dem Gerät, präzise Wafer-Handhabungsoperationen durchzuführen. Insgesamt ist ASYST INX 2200 ein zuverlässiger und präziser Wafer-Handler, der den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterverarbeitung gerecht wird. Die fortschrittlichen Steuerungssysteme und Sicherheitsmerkmale sowie der modulare Aufbau machen es zu einer idealen Wahl für hochpräzise Wafer-Handling-Anwendungen.