Gebraucht ASYST INX 2200 #9175219 zu verkaufen

ASYST INX 2200 ist eine speziell für die Halbleiterherstellung entwickelte automatisierte Wafer-Handhabungsausrüstung. Es wurde entwickelt, um eine effiziente und genaue Übertragung von Wafern zwischen Prozesskammern zu ermöglichen, was einen höheren Durchsatz und verbesserte Produktionsausbeuten ermöglicht. Das System besteht aus zwei Hauptkomponenten: einem Waferlader und einem Waferträger. Der Waferlader dient dazu, Wafer quasi manuell in den Waferträger einzuladen. Der Waferträger durchquert die Einheit dann entweder auf einer vertikalen oder einer horizontalen Ebene, so dass er oberhalb und unterhalb der Betriebsebene liegende Kammern erreichen kann. Das Werkzeug ist mit vier vertikalen Feldspulen und zwei Drehübertragungsarmen ausgestattet, die in einer vertikalen Ebene montiert sind. Diese Wicklungen und Arme ermöglichen eine präzise Positionierung des Wafers innerhalb der Wafer-Handhabungsvorrichtung. Die Maschine ist mit einem vollautomatischen Wafer-Scan ausgestattet, der eine Reihe von Scans und Bestätigungsschritten durchführt, um zu überprüfen, ob sich der Wafer in einem akzeptablen Zustand für den Einsatz befindet. Der Scan wurde entwickelt, um verzerrte oder gerissene Wafer, Partikel, Verunreinigungen und andere Unvollkommenheiten zu erkennen. Nach dem Scannen und Freigeben wird der Wafer automatisch auf den Waferträger geladen und ist bereit für den Transfer. Der Wafer-Transfer innerhalb von ASYST INX2200 erfolgt mit zwei unabhängigen Wafer-Spannfuttern, die mit kraftempfindlichen Sonden ausgestattet sind. Die Sonden spüren die Position des Wafers, während er von der Quelle abgehoben und in das Ziel abgesenkt wird. Quelle und Ziel können sich entweder in derselben Kammer oder in getrennten Kammern befinden. Die Wafer-Spannfutter verfügen zudem über eine zusätzliche Funktion zur Selbstabschaltung, um sicherzustellen, dass der Wafer sowohl am Quell- als auch am Zielort sicher gehalten wird. INX-2200 ist sehr zuverlässig und pflegeleicht. Es ist mit einem Fehlerdiagnosetool ausgestattet, wodurch es einfach ist, Probleme zu identifizieren und zu isolieren. Das Tool enthält auch eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, wie z. B. Interlocks, die verhindern, dass das Asset mit dem Betrieb beginnt, bis alle Parameter richtig eingestellt sind. ASYST INX-2200 ist hochgradig konfigurierbar und kann an die spezifischen Anforderungen jeder Anwendung angepasst werden. Es verfügt auch über eine intuitive grafische Oberfläche, so dass es einfach zu lernen und zu bedienen. Insgesamt ist INX 2200 ein fortschrittliches Wafer-Handling-Modell, das für hochpräzise, leistungsfähige Wafer-Anwendungen entwickelt wurde. Es bietet ein zuverlässiges, effizientes und genaues Mittel zur Übertragung von Wafern zwischen Prozesskammern. Es ist sehr konfigurierbar, so dass es für eine Vielzahl von verschiedenen Anwendungen geeignet ist, und ist einfach zu warten und zu bedienen.